[实用新型]一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置

权利要求书

1.一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置，包括测试柜，其特征在于，

所述测试柜内设置有控制板、升降机构和用于放置多片待测雪崩光电二极管芯片的夹具组件，所述升降机构上设置有用于与待测雪崩光电二极管芯片接触的探针板，所述探针板与控制板电连接；所述夹具组件位于探针板的下方，其上设置有半导体致冷器和温度检测器，所述夹具组件的一侧或上方设置有用于向待测雪崩光电二极管芯片吹氮气的氮气导管；

所述测试柜外部设置有用于控制控制板上的探针的导通状态的多路切换开关，扫描相应待测雪崩光电二极管芯片的偏置电压-电流曲线的直流源表，氮气阀门和控制半导体致冷器的工作状态的TEC控制器和测试主机；

所述测试主机连接升降机构、多路切换开关、直流源表、氮气阀门和TEC控制器。

2.根据权利要求1所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述夹具组件包括夹具装载台和设置于夹具装载台上的芯片夹具，所述半导体致冷器和温度检测器设置于夹具装载台上。

3.根据权利要求2所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述芯片夹具包括芯片固定板和设置于芯片固定板下侧的导热板。

4.根据权利要求3所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述芯片固定板上设置若干芯片孔位和芯片固定弹片，所述芯片固定弹片位于芯片孔位的一侧。

5.根据权利要求3所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述夹具装载台包括基板，所述基板上设置有至少一组夹具定位柱，所述芯片固定板上设置有与一组夹具定位柱适配的定位孔。

6.根据权利要求4所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述探针板上设置有数量与芯片孔位相同、位置对应的探针组。

7.根据权利要求1所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述控制板通过螺栓与探针板固定。

8.根据权利要求1所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述测试柜包括遮光柜体和遮光柜门，所述遮光柜门的一侧与遮光柜体铰接。

9.根据权利要求4所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，每个芯片固定板上的芯片孔位为十个以上。

10.根据权利要求5所述的探针型雪崩光电二极管自动测试装置，其特征在于，所述夹具定位柱为五组以上。