[实用新型]一种三次谐波产生系统

权利要求书

1.一种三次谐波产生系统，其特征在于，包括波长可调光源、偏振控制器、光纤以及光学微腔；

所述波长可调光源用于提供泵浦光，所述泵浦光耦合入所述光纤；

所述光纤与所述偏振控制器的输入端连接；

所述光纤从所述偏振控制器的输出端延伸至所述光学微腔，延伸至所述光学微腔的所述光纤包括锥状结构，所述光纤通过所述锥状结构与所述光学微腔耦合；

其中，所述光学微腔包括衬底和位于所述衬底一侧的支撑柱和微盘腔；

所述泵浦光通过所述锥状结构耦合入所述光学微腔；

所述偏振控制器用于调节所述光纤中所述泵浦光的偏振态；

调节所述泵浦光的波长、功率、偏振态以及所述锥状结构与所述光学微腔的距离，使所述泵浦光在所述光学微腔中传输时满足三次谐波的相位匹配条件，产生三次谐波。

2.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，所述微盘腔的形状为圆台；

所述圆台的母线与所述圆台的底面的夹角大于或等于30°，小于或等于60°。

3.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，还包括第一耦合器、光电探测器、示波器、第一光谱仪以及第二光谱仪；

从所述光学微腔延伸出的所述光纤与所述第一耦合器的输入端连接，所述第一耦合器的第一输出端与所述光电探测器连接，所述光电探测器与所述示波器连接，所述第一耦合器的第二输出端与所述第一光谱仪连接，所述第一耦合器的第三输出端与所述第二光谱仪连接；

所述示波器用于输出所述光电探测器探测的时域波形，所述第一光谱仪用于测量所述三次谐波的光谱，所述第二光谱仪用于测量所述泵浦光的光谱。

4.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，还包括设置于所述波长可调光源和所述偏振控制器之间光路上的光放大器，用于将所述泵浦光放大。

5.根据权利要求4所述的三次谐波产生系统，其特征在于，所述光放大器为半导体光放大器；

所述三次谐波产生系统还包括第一准直器、光隔离器和第二准直器；

所述第一准直器、所述半导体光放大器、所述光隔离器和所述第二准直器在所述波长可调光源和所述偏振控制器之间沿光路依次排列；

所述第一准直器的输入端与所述波长可调光源的输出端耦合，用于将所述泵浦光准直后输入所述半导体光放大器；

所述半导体光放大器用于将所述泵浦光放大；

所述光隔离器用于使放大后的泵浦光单向传输；

所述第二准直器的输出端与连接在所述偏振控制器的输入端的所述光纤连接，所述第二准直器用于将放大后的泵浦光耦合入所述光纤。

6.根据权利要求4所述的三次谐波产生系统，其特征在于，所述光放大器为光纤放大器；

所述波长可调光源通过所述光纤与所述光纤放大器连接；

所述光纤放大器通过所述光纤与所述偏振控制器连接。

7.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，还包括第二耦合器和功率计；

所述第二耦合器的输入端通过所述光纤与所述偏振控制器的输出端连接，所述第二耦合器的第一输出端与所述功率计连接，所述光纤通过所述第二耦合器的第二输出端延伸至所述光学微腔。

8.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，还包括衰减器，所述衰减器的输入端通过所述光纤与所述偏振控制器的输出端连接，所述衰减器的输出端通过所述光纤延伸至所述光学微腔。

9.根据权利要求1所述的三次谐波产生系统，其特征在于，所述光学微腔的衬底材料包括硅，所述微盘腔的材料包括二氧化硅；

所述光学微腔利用干法刻蚀工艺制备。