[实用新型]一种探针的磨针装置有效

专利信息
申请号: 202122544693.9 申请日: 2021-10-21
公开(公告)号: CN215920026U 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 严颖杰;权爱春;周晓磊;林志鑫 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: B24B19/16 分类号: B24B19/16;B24B41/02;B24B41/06
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 黎飞鸿;冯振华
地址: 201306 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 装置
【权利要求书】:

1.一种探针的磨针装置,其特征在于,包括底座和探针安装组件,所述底座上设有外露的研磨台,所述探针安装组件位于所述研磨台上方,所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针,所述探针安装于所述探针固定部上,所述移动组件驱动探针固定部靠近和远离所述研磨台。

2.根据权利要求1所述的探针的磨针装置,其特征在于,还包括支架,所述支架从所述底座延伸至研磨台上方,所述支架于所述研磨台上方与所述探针安装组件连接。

3.根据权利要求2所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述移动组件包括伸缩部和转动部,所述转动部的输出端连接探针固定部和探针,带动所述探针周向转动,所述转动部固定在伸缩部的输出端,所述伸缩部带动所述转动部、探针固定部和探针靠近和远离所述研磨台。

4.根据权利要求3所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述伸缩部为气缸或电缸,所述气缸或电缸的伸缩轴连接所述转动部。

5.根据权利要求2所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述移动组件包括设置于支架上的伸缩件,所述伸缩件沿垂直于所述研磨台的方向上伸缩,所述伸缩件伸缩带所述支架连接所述探针安装组件的一端靠近和远离所述研磨台。

6.根据权利要求1所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述研磨台可拆卸的安装在所述底座上。

7.根据权利要求6所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述研磨台包括粗研磨和精研磨两部分,且设有不同的角度,所述角度范围为0°~60°。

8.根据权利要求1所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述底座上设置有两套平移组件,两套所述平移组件带动所述研磨台在相互垂直的方向上驱动研磨台在底座上平移。

9.根据权利要求8所述的探针的磨针装置,其特征在于,两套所述平移组件为二维平移台,所述二维平移台的基座固定在所述底座上,所述二维平移台的移动端连接研磨台。

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