[实用新型]一种用于晶圆异常检测的点墨装置

权利要求书

1.一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，包括异常检测单元(1)、点墨单元(2)、工作台(3)、X轴移动单元(4)、Y轴移动单元(5)、旋转单元(6)和机架(7)，所述异常检测单元(1)与点墨单元(2)固定连接，所述工作台(3)用于承载晶圆，所述异常检测单元(1)固定于所述机架(7)上并且朝向所述工作台(3)设置，所述点墨单元(2)对所述工作台(3)上的晶圆进行标记，所述X轴移动单元(4)控制所述工作台(3)沿X轴移动，所述Y轴移动单元(5)控制所述工作台(3)沿Y轴移动，所述旋转单元(6)控制所述工作台(3)做回转运动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述异常检测单元(1)包括Z轴移动组件(11)和检测相机(12)，所述Z轴移动组件(11)控制检测相机(12)沿Z轴移动。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述Z轴移动组件(11)包括第一驱动件(111)、第一传动机构(112)、第一丝杠(113)、第一螺母(114)和支撑板(115)，所述第一驱动件(111)通过第一传动机构(112)与第一丝杠(113)相连接，所述第一丝杠(113)与第一螺母(114)螺纹连接，所述第一螺母(114)上固定有支撑板(115)，所述检测相机(12)与所述支撑板(115)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述第一螺母(114)与所述支撑板(115)之间设置有第一导轨(116)和第一滑块(117)，所述第一导轨(116)与所述第一螺母(114)固定连接，所述第一导轨(116)上滑动设置有第一滑块(117)，所述第一滑块(117)与所述支撑板(115)固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述点墨单元(2)包括点墨针(21)和固定架(22)，所述固定架(22)与所述检测相机(12)固定连接，所述点墨针(21)夹持于所述固定架(22)上。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述X轴移动单元(4)包括第二驱动件(41)、第二传动机构(42)、第二丝杠(43)和第二螺母(44)，所述第二驱动件(41)固定于机架(7)上，所述第二驱动件(41)通过第二传动机构(42)与所述第二丝杠(43)连接，所述第二丝杠(43)上螺纹连接有第二螺母(44)，所述第二螺母(44)上固定有第一承载台(45)。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述第一承载台(45)和所述机架(7)之间设置有第二导轨(46)、第二滑块(47)，所述机架(7)上固定有第二导轨(46)，所述第二导轨(46)上滑动设置有第二滑块(47)，所述第二滑块(47)与所述第一承载台(45)固定连接。

8.根据权利要求6或7所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述Y轴移动单元(5)包括第三驱动件(51)、第三传动机构(52)、第三丝杠(53)和第三螺母(54)，所述第三驱动件(51)与所述承载台固定连接，所述第三驱动件(51)通过第三传动机构(52)与所述第三丝杠(53)连接，所述第三丝杠(53)上螺纹连接有第三螺母(54)，所述第三螺母(54)上固定连接有第二承载台(55)。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述旋转单元(6)包括旋转电机(61)、主动带轮(62)和从动带轮(63)，所述旋转电机(61)与所述主动带轮(62)固定连接，所述主动带轮(62)通过传送带与所述从动带轮(63)传动连接，所述从动带轮(63)上穿设有转轴，所述转轴与所述工作台(3)固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述工作台(3)上开设有用于承载晶圆的凹糟(31)，所述工作台(3)上设置有至少两个同圆心的凹槽(31)。