[实用新型]一种拼接硅棒缝隙填充工装有效
申请号: | 202122567944.5 | 申请日: | 2021-10-25 |
公开(公告)号: | CN216788918U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 魏辉;曾伟豪;付少华 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拼接 缝隙 填充 工装 | ||
本实用新型提供一种拼接硅棒缝隙填充工装,对置于料板上的任一相邻短硅棒的缝隙进行拼接,包括一组板件,所述板件设于所述缝隙两侧并相对设置,所述板件可沿所述缝隙周向与所述短硅棒和所述料板共同围成一上端面开口的填料腔,朝所述填料腔填充粘料并充满所述填料腔,以完成对所述短硅棒的粘接。本实用新型一种拼接硅棒缝隙填充工装,可稳固地卡装在与料板一体粘接的硅棒外侧壁上,并可调节缝隙宽度以适应不同缝隙宽度的缝隙,并能够在粘接时精准地沿缝隙对接空间向硅棒的缝隙处填充粘料,以使粘料快速地充满缝隙完成凝固;本结构的工装在脱模时还可将硅棒上端面凸出硅棒顶面的粘料抹平去掉,以保证缝隙处的粘料完全与硅棒周面齐平。
技术领域
本实用新型属于硅棒拼接辅助装置技术领域,尤其是涉及一种拼接硅棒缝隙填充工装。
背景技术
现有切片机的满载切割的标准硅棒长度为600-1000mm左右,而在上游硅棒截断过程中,无法避免地会产生小于600mm的短硅棒,后续需将不同长度的短硅棒拼接成标准长硅棒,再进行切片加工。对于拼接后的长硅棒,若在缝隙处不填充粘料,则在切片时需要花费大量时间对金刚线线网进行调整,以避开缝隙位置,且还需要在该缝隙处预留一定厚度的甩切硅片,这样不仅会降低长硅棒的出片率、增加废料量,而且还会在缝隙处产生断网的风险。若线网调整不合适还会出现卷线,严重时需要停机调整。
现有缝隙连接是先在短硅棒的任一端面涂覆粘料,再将另一个短硅棒立放在带有粘料的短硅棒上,待其粘接固化完成后,再将拼接后的长硅棒一体粘接在料板上。对于短硅棒数量大于2个的拼接长硅棒,需要逐个将短硅棒粘接完成后,再将连接于一体的长硅棒粘接在料板上,这种粘接方式需要更多粘接时间,而且缝隙的粘接处有可能不会填充满,尤其是在切片时入刀时的那侧缝隙处会出现月牙形的凹面,这样切片时会在缝隙处的金刚线的张力不一致,会造成卷线,并可使缝隙两侧的硅片质量不合格,造成更多废片。还有,这种缝隙粘接方法无法保证叠放粘接的硅棒的同轴度,严重制约切片的加工效率和产品质量。
实用新型内容
本实用新型提供一种拼接硅棒缝隙填充工装,解决了现有技术中无法快速地填充缝隙的技术问题。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
一种拼接硅棒缝隙填充工装,对置于料板上的任一相邻短硅棒的缝隙进行拼接,包括一组板件,所述板件设于所述缝隙两侧并相对设置,所述板件可沿所述缝隙周向与所述短硅棒和所述料板共同围成一上端面开口的填料腔,朝所述填料腔填充粘料并充满所述填料腔,以完成对所述短硅棒的粘接。
进一步的,所述填料腔的高度大于所述缝隙高度。
进一步的,所述板件的上端面相互搭扣连接以形成与所述缝隙厚度和宽度相适配的所述填料腔。
进一步的,所述板件包括一体连接设置的侧壁板和上壁板;
所述侧壁板下段部为阶梯台面结构,与所述短硅棒和所述料板的侧壁面紧贴设置;
所述上壁板配设于所述侧壁板上段部并垂直于所述侧壁板的内侧面设置。
进一步的,所述侧壁板沿所述短硅棒长度方向上的宽度大于所述缝隙的厚度,并横跨所述缝隙设置。
进一步的,所述上壁板设于所述短硅棒的上端面并沿所述缝隙水平宽度设置。
进一步的,所述侧壁板一端固设于所述侧壁板内侧面;另一端悬空设置并顶接于另一侧相对设置的所述板件中的所述侧壁板的内侧面。
进一步的,所述侧壁板的下端面与所述短硅棒的上端面平齐接触,且设有朝远离所述缝隙一侧设置的折边。
优选地,所述上壁板远离所述侧壁板的一端的上顶面设有朝远离所述缝隙一侧水平设置的扣槽,所述扣槽搭接于另一侧相对设置的所述板件中的所述侧壁板的上顶面。
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