[实用新型]一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置有效
申请号: | 202122580650.6 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN216049159U | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 赵久祥 | 申请(专利权)人: | 宁夏中科欧德科技有限公司 |
主分类号: | F27B21/00 | 分类号: | F27B21/00;F27B21/08;F27B21/14;F27D7/06;F27D11/02;C04B35/64 |
代理公司: | 成都熠邦鼎立专利代理有限公司 51263 | 代理人: | 莫志明 |
地址: | 750000 宁夏回族自治区银川市金凤区通*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 烧结 变形 旋转 陶瓷 装置 | ||
本实用新型属于陶瓷靶材生产技术领域,尤其为一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置,包括箱体,所述箱体的顶部设置有加压机构,所述箱体的一侧固定设置有密封塞,所述密封塞的一侧固定安装有放置板,所述放置板的顶部固定安装有三个放置槽,所述箱体的前后侧内壁上均固定安装有蛇形加热管,所述箱体的一侧固定连通有真空泵,所述箱体的另一侧设置有温度传感器。本实用新型通过控制器、温度传感器和蛇形加热管的配合,可对箱体内的温度进行控制,避免温度过高而导致靶材被烧变形,通过电机、蜗杆、蜗轮、主动齿轮、从动齿轮、齿条、安装板和加压板的配合,可对靶材坯体进行加压,使其不变形并按照模型固定样式进行烧结。
技术领域
本实用新型涉及陶瓷靶材生产技术领域,尤其涉及一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置。
背景技术
陶瓷靶是制备薄膜时使用的源材料,广泛应用于溅射镀膜、脉冲激光沉积等技术中,陶瓷靶材的制备一般要经过粉末制备、粉末成形、烧结与切割加工等几个工艺步骤。经检索:授权公布号为CN211503687U的一种陶瓷靶材加工用烧结装置,该设计在拆卸安装检修使用操作时十分简单方便,并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置在陶瓷靶材烧结完之后可快速冷却从而使得加工效率高,并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置可防止高温烫伤,从而安全性能高。
然而上述中的陶瓷靶材烧还存在有不足之处,不能对温度进行监控,易温度过高而导致靶材变形,且不能对靶材坯体进行加压,使其不能按照模型固定样式进行烧结,因此我们提出了一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述中的陶瓷靶材烧结装置不能对温度进行监控,易温度过高而导致靶材变形,且不能对靶材坯体进行加压,使其不能按照模型固定样式进行烧结的缺点,而提出的一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置,包括箱体,所述箱体的顶部设置有加压机构,所述箱体的一侧固定设置有密封塞,所述密封塞的一侧固定安装有放置板,所述放置板的顶部固定安装有三个放置槽,所述箱体的前后侧内壁上均固定安装有蛇形加热管,所述箱体的一侧固定连通有真空泵,所述箱体的另一侧设置有温度传感器,所述箱体的底部固定安装有冷却筒,所述冷却筒的底部固定安装有过滤网,所述过滤网的顶部固定安装有风扇,所述箱体的顶部设置有两个上电磁阀,所述箱体的底部设置有下电磁阀。
优选的,所述加压机构包括固定安装在箱体顶部的保护罩和两个活动设置在箱体内的齿条,所述保护罩的顶部固定安装有电机,所述电机的输出轴上固定安装有蜗杆,所述保护罩的后侧内壁上转动安装有两个主动齿轮和从动齿轮,两个主动齿轮分别与对应的从动齿轮相啮合,两个从动齿轮分别与对应的齿条相啮合,两个主动齿轮的前侧均固定安装有蜗轮,所述蜗杆和两个蜗轮相啮合,两个齿条的底端固定安装有同一个移动板,所述移动板的底部固定安装有三个加压板。
优选的,所述箱体的顶部开设有两个通孔,两个齿条分别滑动套接在对应的通孔内。
优选的,所述箱体的顶部开设有两个滑孔,两个滑孔内均滑动套接有导向杆,两个导向杆均固定安装在移动板的顶部。
优选的,所述移动板的底部固定安装有三个连接杆,三个连接杆分别固定安装在对应的加压板的顶部。
优选的,所述箱体的另一侧内壁上固定安装有限位框,所述放置板滑动套接在限位框内。
优选的,所述箱体的一侧开设有开口,所述密封塞滑动密封套接在开口内,所述密封塞上螺纹设置有两个螺杆,所述密封塞通过两个螺杆固定安装在开口内。
优选的,所述箱体的另一侧固定安装有控制器,所述风扇、下电磁阀、上电磁阀、真空泵、温度传感器、蛇形加热管和电机均与控制器为电性连接。
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