[实用新型]一种转移上料装置有效
申请号: | 202122590157.2 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN216188678U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 周汉知;冯永;李健儿 | 申请(专利权)人: | 四川绿然科技集团有限责任公司 |
主分类号: | B65G41/00 | 分类号: | B65G41/00;B65G47/22;B65G35/00 |
代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 吴飞 |
地址: | 629000 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 装置 | ||
1.一种转移上料装置,其特征在于,包括滑动机构(1),滑动机构(1)一端设有支撑构件(2),滑动机构(1)的上端设有放置机构(3),放置机构(3)两侧均设有一对调节机构(4),调节机构(4)的下端均安装于滑动机构(1),放置机构(3)的一端设有端固构件(5),放置机构(3)用于晶圆棒的放置,以及晶圆棒的推出,调节机构(4)与支撑构件(2)相互配合用于放置机构(3)倾斜角度的调节,端固构件(5)用于晶圆棒一端的固定;
放置机构(3)包括下撑台(30),下撑台(30)的上端设有弧形板(31),下撑台(30)的下壁安装有一对推出轴承座(32),推出轴承座(32)之间设有多根推出导杆(33),其中一个推出轴承座(32)安装有推出电机(34),推出电机(34)的输出轴连接有推出丝杆(35),推出丝杆(35)设有推出座(36),推出座(36)上端穿于下撑台(30),推出座(36)的上端设有推出圆板(37),推出圆板(37)位于弧形板(31)内。
2.根据权利要求1所述的转移上料装置,其特征在于,滑动机构(1)包括基板(10),基板(10)向下延伸地安装有一对下伸座(11),下伸座(11)的下端均穿有转杆(12),转杆(12)的两端均设有滚轮(13)。
3.根据权利要求2所述的转移上料装置,其特征在于,支撑构件(2)包括安装于基板(10)的转动座(20),转动座(20)铰接有转动板(21),转动板(21)的上端设有凹形铰接架(22),凹形铰接架(22)的上端均穿有转轴(23),转轴(23)的内侧端均安装于下撑台(30)的一端。
4.根据权利要求2所述的转移上料装置,其特征在于,调节机构(4)包括安装于基板(10)另一端设有折形上延板(40),折形上延板(40)成形有调节孔(400),折形上延板(40)外壁的上下两端均安装有调节轴承座(41),调节轴承座(41)之间设有多根调节导杆(42),位于上端的调节轴承座(41)安装有调节电机(43),调节电机(43)的输出轴连接有调节丝杆(44),调节丝杆(44)设有调节座(45),调节座(45)的内侧端均穿于调节孔(400),调节座(45)的内侧端安装有安装凹形板(46),安装凹形板(46)安装有调节横板(47),调节横板(47)成形有键形孔(470),键形孔(470)内穿有活动杆(48),活动杆(48)的内侧端安装于下撑台(30)的一侧。
5.根据权利要求2所述的转移上料装置,其特征在于,端固构件(5)包括安装于弧形板(31)一端一侧的铰接座(50),铰接座(50)铰接有转动凸板,转动凸板的另一端端部垂直地设有内伸连板(51),内伸连板(51)的另一端设有端固弧板(52),端固弧板(52)的另一端设有外伸端板(53),外伸端板(53)的端部设有弹簧销(54),弹簧销(54)的外侧端套设有弹簧(55),弹簧(55)的内侧端设有键形板(56),键形板(56)的上端套设于弹簧销(54),键形板(56)的下端向内延伸地设有定位杆(57),定位杆(57)穿有外伸凸台(58),外伸凸台(58)安装于弧形板(31)。
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