[实用新型]一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳

权利要求书

1.一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是其结构包括金属框架（1）、金属热沉（2）、金属引线（3）和陶瓷绝缘子（4）；其中，所述金属框架（1）两侧设有开槽，陶瓷绝缘子（4）上设有盲腔结构（10），金属框架（1）与金属热沉（2）相连，陶瓷绝缘子（4）嵌入金属框架（1）上的开槽内，金属引线（3）贯穿陶瓷绝缘子（4）的盲腔结构（10）并气密连接。

2.根据权利要求1所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述金属热沉（2）为金刚石铜嵌套铜基合金结构，所述嵌套形式为“1” 字形、“T” 字形 或“倒T” 字形嵌套结构。

3.根据权利要求2所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述铜基合金为钼铜合金、钨铜合金或铜-钼铜-钼铜合金。

4.根据权利要求1所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述陶瓷绝缘子（4）包含1#封接区（5）、2#封接区（6）、键合指（7）、1#侧壁金属层（8）、2#侧壁金属层（9）和盲腔结构（10），陶瓷绝缘子（4）通过1#封接区（5）、1#侧壁金属层（8）、2#侧壁金属层（9）与金属框架（1）气密焊接，通过2#封接区（6）与金属热沉（2）气密焊接。

5.根据权利要求4所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述键合指（7）由线宽不同的带状线和微带线组成，微带线线宽W₁=1.2mm±0.10mm，带状线线宽W₂=1.0mm±0.10mm。

6.根据权利要求4所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述1#侧壁金属层（8）、2#侧壁金属层（9）宽度≤1.3mm。

7.根据权利要求4所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述盲腔结构（10）内壁覆盖金属钨层，截面宽≤0.3mm，长≤1.3mm。

8.根据权利要求1所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述金属引线（3）为锆铜合金，宽度≤1.2mm，厚度≤0.3mm。

9.根据权利要求1所述的一种大功率固态微波功率器件用贯穿式陶瓷外壳，其特征是所述金属框架（1）为铁镍合金或铁镍钴合金，开槽处R＜0.1mm。