[实用新型]一种多晶硅还原炉供电电路有效
申请号: | 202122609641.5 | 申请日: | 2021-10-28 |
公开(公告)号: | CN215988407U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 刘汉元;甘居富;游书华;王恒;陈绍林;周英怀;谭兵;杨亮 | 申请(专利权)人: | 四川永祥能源科技有限公司;四川英杰电气股份有限公司 |
主分类号: | H01F29/02 | 分类号: | H01F29/02;H02M5/10;C01B33/035 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 韩洋 |
地址: | 614800 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 供电 电路 | ||
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉供电电路,包括:变压器、调压器、切换单元、硅芯;所述变压器设有至少一组输出线包,所述输出线包设有M个抽头和一个参考点,所述输出线包上并联有N个调压器,每个所述调压器的输出端经切换开关和一组硅芯连接至参考点;所述切换单元包括若干个切换开关;所述切换开关串联于一组硅芯与参考点之间、调压器输出端与参考点之间,以及两组硅芯之间,其中,M≥2且N≥M。本实用新型所提供的供电电路相对于现有供电方式,供电变压器出线数量少、变压器相数少、使用铜材少、变压器输出电压跨度小、调压器件数量少、损耗小,利用率高,为用户节约成本,具有显著的经济效益。
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产技术,尤其涉及一种多晶硅还原炉供电电路。
背景技术
在光伏、电子、微电子产业中,多晶硅是其主要原材料。多晶硅是以金属硅为原料,经一系列的物理、化学反应提纯的高纯硅。由于改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,该生产工艺需要大功率电源加热恒温控制多晶硅棒。
多晶硅在整个生产过程中等效为阻抗变化很大的负载组,电压范围从2000V/m变化至10V/m,在2000V/m阶段使用高电压击穿,使其产生电流发热来降低电压需求;100V/m至10V/m阶段是多晶硅的生长过程,此过程功率大、时间长;当硅芯击穿后,硅芯的阻值随着供电加热时间的变化逐渐降低,为满足硅芯阻值变化及多晶硅生产需求,现有多晶硅还原炉供电电路中,均采用多绕组、多电压输出变压器(输出电压250V~2800V),结合五叠层调压控制,实现对硅芯的供电加热。图1示出了现有的一种40对棒还原炉供电电路,如图1所示,该电路中,变压器设有3相共6个输出线包,每个输出线包设有5个抽头和1个参考点,每个抽头串联一个调压器件,每个输出线包、调压器件与硅芯之间需5个切换开关,整个供电系统共需要30个调压器件、30个切换开关,以及与调压器件连接的30根电缆,整体成本非常高。又如申请号为2011101543105的中国专利所提供的一种24对棒多晶硅还原炉供电系统,其所公开的电路中每个输出线包设有5个抽头和1个参考点,每个抽头串联一个调压器件,其也存在器件多、电路成本高的缺陷。综上,现有技术所提供的多晶硅还原炉供电电路存在器件多、成本高的缺陷。
实用新型内容
鉴于以上所述现有多晶硅还原炉供电电路所存在的器件多、电路复杂成本较高的问题,本实用新型的目的在于:提供一种多晶硅还原炉供电电路,能够节省电子元器件,极大地节约电路成本。
为实现上述实用新型目的,本实用新型提供以下技术方案:
一种多晶硅还原炉供电电路,包括:变压器、调压器、切换单元、硅芯;
所述变压器设有至少一组输出线包,所述输出线包设有M个抽头和一个参考点,所述输出线包上并联有N个调压器,每个所述调压器的输出端经切换开关和一组硅芯连接至参考点;所述切换单元包括若干个切换开关;所述切换开关串联于一组硅芯与参考点之间、调压器输出端与参考点之间,以及两组硅芯之间,其中,M≥2且N≥M。
具体的,在本实用新型所提供的多晶硅还原炉供电电路中,所述切换开关根据硅芯阻值情况求来改变不同组硅芯间的串联或/和并联关系,以适应变压器的输出。
根据一种具体的实施方式,上述多晶硅还原炉供电电路中,所述调压器包括:至少L个调压器件,至少L个所述调压器件的输入端与所述输出线包的M个抽头的输出端对应连接,至少L个所述调压器件的输出端并联构成调压器的输出端,所述调压器的输出端经切换开关连接至一组硅芯的一端,一组所述硅芯的另一端直接或经切换开关连接至参考点,其中L≤M。
具体的,所述调压器件优选为M个调压器件,M个调压器件与M个抽头一一对应连接,当调压器件大于M个时,则可以有两个调压器件同时接于同一个抽头。
根据一种具体的实施方式,上述多晶硅还原炉供电电路中,所述调压器与硅芯为两组,
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