[实用新型]双光罩滚轮调整视角光刻设备

权利要求书

1.一种双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备包括：

一滚轮固定装置，用来固定包覆有一光阻层的一金属滚轮，并且所述金属滚轮的长度介于1.6米至1.8米之间；以及

一光刻装置，与所述滚轮固定装置间隔开地设置，并且所述光刻装置包含：

两个曝光光源；及

两个光罩，安装于两个所述曝光光源，并且两个所述曝光光源分别能用来配合两个所述光罩对所述光阻层的相同区域照射一第一光刻光线及一第二光刻光线；

其中，两个所述光罩分别形成有彼此间隔开且相互平行的多个正弦波图案，并且一个所述光罩的任一个所述正弦波图案的长度方向垂直于另一个所述光罩的任一个所述正弦波图案的长度方向，而两个所述光罩的任一个所述正弦波图案的线宽与线距的比值介于2/8～8/2之间。

2.根据权利要求1所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一无尘腔体，并且所述滚轮固定装置以及所述光刻装置设置于所述无尘腔体中。

3.根据权利要求1所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一移动装置，所述移动装置与两个所述曝光光源及两个所述光罩连接且能用来移动两个所述曝光光源及两个所述光罩。

4.根据权利要求1所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一浸润装置，所述浸润装置包含一容置槽及安装于所述容置槽的两个盖体，并且所述容置槽用来容纳一显影剂，两个所述盖体用来防止外部的灰尘进入所述容置槽中。

5.根据权利要求4所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一升降装置，所述升降装置包含一升降机构以及安装于所述升降机构的一支撑机构；其中，所述支撑机构用来支撑所述浸润装置的底部，而所述升降机构用来使所述浸润装置沿垂直于所述金属滚轮的轴心的方向移动。

6.根据权利要求1所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一转动装置，所述转动装置安装于所述滚轮固定装置，并且所述转动装置用来转动所述金属滚轮。

7.根据权利要求6所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述转动装置，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述转动装置运行时，所述转动装置能转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。

8.根据权利要求6所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述转动装置包含一速度控制机构，所述速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至120转/分钟的一浸润速度转动。

9.根据权利要求6所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述转动装置包含一速度控制机构，所述速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。

10.根据权利要求1所述的双光罩滚轮调整视角光刻设备，其特征在于，所述双光罩滚轮调整视角光刻设备还包括一烘烤装置，所述烘烤装置与所述滚轮固定装置间隔开地设置。