[实用新型]干燥气换热装置

权利要求书

1.一种干燥气换热装置，用于芯片安装装置，所述芯片安装装置包括安装腔，其特征在于，包括干燥气发生机构(1)、温度调节机构(2)和换热机构(3)；

所述换热机构(3)包括第一腔室(31)和第二腔室(32)，所述温度调节机构(2)与所述第二腔室(32)连通，用于向第二腔室(32)输送导热流体；

所述干燥气发生机构(1)与所述第一腔室(31)连通，用于向第一腔室(31)输送干燥气体，所述第一腔室(31)与安装腔连通；

所述第一腔室(31)与所述第二腔室(32)相贴合以进行热交换。

2.根据权利要求1所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述换热机构(3)包括第一换热管和第二换热管，所述第二换热管套设于所述第一换热管的外侧，所述第一换热管和第二换热管之间形成所述第二腔室(32)，所述第一换热管内形成所述第一腔室(31)。

3.根据权利要求2所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述第一换热管和所述第二换热管同轴设置。

4.根据权利要求2所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述换热机构(3)包括U型管(6)、Ω型管(7)或螺旋型管(8)。

5.根据权利要求2所述的干燥气换热装置，其特征在于，还包括换热器(9)防护壳，所述第一换热管和第二换热管设于所述防护壳内部；所述第一换热管和第二换热管能够发生形变。

6.根据权利要求2所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述干燥气换热装置还包括换热器(9)。

7.根据权利要求6所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述换热器(9)设置在所述干燥气发生机构(1)与所述第一腔室(31)之间，所述干燥气发生机构(1)通过所述换热器(9)与所述第一腔室(31)连通。

8.根据权利要求7所述的干燥气换热装置，其特征在于，在所换热器(9)设置在所述温度调节机构(2)与所述第二腔室(32)之间，

所述温度调节机构(2)、所述换热器(9)和所述第二腔室(32)首尾依次连通构成导热流体内循环。

9.根据权利要求1所述的干燥气换热装置，其特征在于，在所述第一腔室(31)与所述第二腔室(32)相互贴合的区段，所述第一腔室(31)内干燥气体的流动方向与所述第二腔室(32)内导热流体的流动方向相反。

10.根据权利要求1所述的干燥气换热装置，其特征在于，所述第二腔室(32)外出还设置有保温层。