[实用新型]一种晶圆取放及转运装置有效
| 申请号： | 202122621829.1 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216376428U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 葛婷;黎浩 | 申请（专利权）人： | 湖北光安伦芯片有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 徐俊伟 |
| 地址： | 436000 湖北省鄂州市葛店*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆取放 转运 装置 | ||
1.一种晶圆取放及转运装置，其特征在于，包括转运载盘和取放托盘，所述取放托盘上设置有楔形凸台状的取放衬板，所述转运载盘为环形凹台状，所述转运载盘上还设置有与所述取放衬板配合使用的矩形槽，用于将所述取放托盘上的晶圆转移到所述转运载盘上，或用于所述取放托盘将所述转运载盘上的晶圆取出。
2.根据权利要求1所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述转运载盘上设置有用于晶圆限位的限位槽。
3.根据权利要求2所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述限位槽为环形凹台状。
4.根据权利要求1所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述转运载盘上还设置有防滑机构，所述防滑机构为环形凸台状。
5.根据权利要求1所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述转运载盘上还设置有至少一个透气孔，其中一个所述透气孔设置于所述转运载盘的圆心处。
6.根据权利要求1所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述取放托盘上还设置有用于晶圆限位的晶圆围框，所述晶圆围框设置在所述取放托盘的边缘。
7.根据权利要求6所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述取放托盘上还设置有手柄，所述手柄可拆卸连接于所述晶圆围框。
8.根据权利要求7所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述手柄与所述晶圆围框之间螺纹连接。
9.根据权利要求7所述的晶圆取放及转运装置，其特征在于，所述手柄上设置有防滑层。
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