[实用新型]一种气浮导轨六自由度调整装置

权利要求书

1.一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：包括气浮平台(4)、万向球头组件和微分头弹性可调装置(3)，所述万向球头组件设置在气浮平台(4)下方，所述微分头弹性可调装置(3)对称设置在气浮平台(4)两侧；

所述气浮平台(4)的底面固定设置有球头凹面体(6)，所述气浮平台(4)的两侧分别设有固定架(5)，所述固定架(5)的一端与气浮平台(4)固定连接，所述微分头弹性可调装置(3)设置在固定架(5)的另一端；

所述万向球头组件包括千斤顶底座(1)、调整螺杆(2)和万向球头(7)，所述万向球头(7)的下端活动设置在千斤顶底座(1)上端，所述调整螺杆(2)设置在万向球头(7)与千斤顶底座(1)的连接处。

2.根据权利要求1所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述微分头弹性可调装置(3)包括弹性杆(31)、微分头(32)，所述弹性杆(31)、微分头(32)分别平行设置在固定架(5)上。

3.根据权利要求1所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述万向球头(7)的上端设置在球头凹面体(6)中。

4.根据权利要求3所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)内部贯穿气道，所述气浮平台(4)的喷气面有多个喷嘴。

5.根据权利要求4所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)由花岗石制成。

6.根据权利要求4所述的一种气浮导轨六自由度调整装置，其特征在于：所述气浮平台(4)的喷气面有9个喷嘴。