[实用新型]一种双面光刻机工件台有效
| 申请号： | 202122662473.6 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN216622960U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 | 申请（专利权）人： | 四川鸿源鼎芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 610199 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双面 光刻 机工 | ||
1.一种双面光刻机工件台，其特征在于：包括XYY平台(501)、固定安装在XYY平台(501)上的下安装台(502)以及位于下安装台(502)上方的上安装台(503)，上安装台(503)安装在升降机构(504)上，上安装台(503)上安装有上掩膜版(505)，下安装台(502)上安装有下掩膜版(506)；XYY平台(501)和下安装台(502)之间设有摄像头(507)。
2.根据权利要求1所述的双面光刻机工件台，其特征在于：所述下安装台(502)上设有朝向上安装台(503)的吹气孔，吹气孔均与正压气源相连，吹气孔和正压气源之间设有气压表，气压表与升降机构(504)电性连接。
3.根据权利要求2所述的双面光刻机工件台，其特征在于：所述上安装台(503)上也设有朝向下安装台(502)的吹气孔。
4.根据权利要求1所述的双面光刻机工件台，其特征在于：所述下掩膜版(506)的四个侧面上均设有压紧块(509)，下安装台(502)上相对压紧块(509)的位置设有推块(510)，其中两相邻侧位置的推块(510)安装在压紧气缸(511)的自由端上，压紧气缸(511)固定安装在下安装台(502)上。
5.根据权利要求1所述的双面光刻机工件台，其特征在于：所述摄像头(507)安装在XYZ三轴运动机构上，XYZ三轴运动机构包括X轴直线滑台(512)、安装在X轴直线滑台(512)的自由端上的Y轴直线滑台(513)、安装在Y轴直线滑台(513)的自由端上的Z轴直线滑台(514)、安装在Z轴直线滑台(514)的固定端上的安装座(515)，摄像头(507)安装在安装座(515)上。
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