[实用新型]阴极辊、电解铜箔机构及成品铜箔的制备系统

权利要求书

1.一种阴极辊，其特征在于，所述阴极辊包括：

辊状的本体；

环状的基材铜箔，形成于所述本体的周壁且与所述本体导电连接；以及

石墨烯薄膜，形成于所述基材铜箔的表面并复制有所述基材铜箔的表面形貌特征；

其中，所述基材铜箔的材质为单晶铜箔或大晶畴铜箔，所述大晶畴铜箔在每平方分米的晶界数量≤5个。

2.根据权利要求1所述的阴极辊，其特征在于，所述基材铜箔的厚度为25-70μm。

3.根据权利要求1所述的阴极辊，其特征在于，20nm≤所述石墨烯薄膜的厚度为≤350nm。

4.根据权利要求1所述的阴极辊，其特征在于，所述本体的材质为钛。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的阴极辊，其特征在于，所述基材铜箔与所述本体之间具有导电胶层。

6.一种电解铜箔机构，其特征在于，包括：

电解槽，用于装放电解液；

如权利要求1-5任意一项所述的阴极辊，利用所述电解液以通过电镀的方式电沉积电解铜箔；以及

阳极部，通过所述电解液与所述阴极辊通电。

7.一种成品铜箔的制备系统，其特征在于，包括权利要求6所述的电解铜箔机构、剥离机构以及退火机构；

其中，所述剥离机构用于剥离所述阴极辊上的所述电解铜箔，所述退火机构具有用于接收剥离后的所述电解铜箔退火腔，所述退火机构设有与所述退火腔连通的惰性气体输入管道、氢气输入管道、以及用于加热所述退火腔的加热部件。

8.根据权利要求7所述的成品铜箔的制备系统，其特征在于，所述退火腔具有相对布置的进料端以及出料端，所述退火机构包括设置于退火腔内的输送机构，所述输送机构用于将烘干后的电解铜箔自进料端输送至出料端。

9.根据权利要求8所述的成品铜箔的制备系统，其特征在于，所述退火腔呈条形，所述进料端以及出料端位于所述退火腔长度方向的两端。

10.根据权利要求7所述的成品铜箔的制备系统，其特征在于，所述成品铜箔的制备系统还包括清洗机构以及烘干机构，所述清洗机构用于接收并清洗自所述剥离机构剥离的电解铜箔，烘干机构用于烘干清洗后的电解铜箔并将其输送至所述退火机构。