[实用新型]一种高容量的水汽捕集泵

说明书

本实用新型提供了一种高容量的水汽捕集泵，包括：底座、压缩机、水冷交换器、干燥过滤器和热交换器，其中，所述底座上端靠近边沿位置设置有主体，所述主体正面设置有维修门，所述底座上端表面靠近中间位置开设有凹槽，所述凹槽内部设置有制冷盘管，所述制冷盘管表面开设有滑槽，所述滑槽内部设置有滑块，本实用新型通过采用了更大的压缩机，更大热交换器来实现整体负载以及容量的提升，可以减少设备使用数量来达到相同的负载能力，或者在设备使用数量相同的情况下达到提升水汽捕集效率，提升真空质量和真空速度，便于使制冷盘管温度升高并恢复至常温状态，避免低温的制冷盘管吸收大气中的水汽导致表面结霜。

技术领域

本实用新型涉及一种捕集泵，具体涉及一种高容量的水汽捕集泵，属于捕集泵领域。

背景技术

目前国内的超低温水汽捕集泵主要用于对如半导体、光纤，平板显示等产品进行真空镀膜时，在真空室内抽吸水汽，现有技术中，其原理是将一个能到-130℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。

然而，现有技术中，设备负载能力不足，无法带动大负载，设备容量不足，无法使用大于80m的管路，所以在特大型腔体中必须使用2台设备，不便于使制冷盘管快速升至室温，导致其易因吸收大气中的水汽导致表面结霜，为此我们提出一种高容量的水汽捕集泵。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供了一种高容量的水汽捕集泵，用以解决水汽捕集泵的体积和重量较大，不方便拆卸和移动；并且，容量较大，在小负载情况下制冷量浪费严重，能耗较高的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种高容量的水汽捕集泵，包括：底座、压缩机、水冷交换器、干燥过滤器和热交换器，其中，所述底座上端靠近边沿位置设置有主体，所述主体正面设置有维修门，所述底座上端表面靠近中间位置开设有凹槽，所述凹槽内部设置有制冷盘管，所述制冷盘管表面开设有滑槽，所述滑槽内部设置有滑块，所述滑块一侧设置有中空加热管，两组所述中空加热管之间设置有导流管。

进一步地，所述导流管表面缠绕设置有加热丝，所述中空加热管内部填充有水，所述中空加热管通过滑块配合滑槽沿着制冷盘管左右滑动。

进一步地，所述制冷盘管呈S型设置在凹槽内部，所述维修门一侧和主体之间设置有铰链。

进一步地，所述主体内部开设有真空腔，所述制冷盘管位于真空腔内部。

进一步地，所述热交换器与压缩机之间设置有安全阀，位于末端的热交换器依次与制冷电磁阀和制冷手阀连接，并通过设有回路手阀的回路管道循环至位于末端的热交换器。

进一步地，两组所述热交换器之间设置有相分离器，所述相分离器的两端分别与相邻两个热交换器连接，且相分离器通过毛细管与下一级热交换器连接。

进一步地，所述主体内部设置有化霜系统和缓冲系统，其中化霜系统从入口端由前至后依次串联布置压缩机、高压端波纹管、油分离器、化霜电磁阀、化霜手阀、蒸发器、回路手阀、安全阀以及低压端波纹管通过铜质制管道连接组成，缓冲系统从入口端由前至后依次串联布置第三级相分离器、缓冲电磁阀、储气罐、毛细管以及第一级热交换器回路管通过铜质制管道连接组成，且蒸发器安装在真空镀膜系统的腔体以及扩散泵内。

本实用新型的有益效果：通过采用了更大的压缩机，更大热交换器来实现整体负载以及容量的提升，可以大大提升设备的负载能力，可以减少设备使用数量来达到相同的负载能力，或者在设备使用数量相同的情况下达到提升水汽捕集效率，提升真空质量和真空速度；