[实用新型]基于空间光调制器的大视场激光干涉系统

权利要求书

1.一种基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述系统包括：

从光源到样件依次设有偏振模块、第一物镜、分光模块、偏振分光棱镜、空间光调制器、光学4F系统、遮极滤光模块、二向色镜、反射镜、筒镜、第二物镜；

所述光源用于出射原光束，所述偏振模块用于对所述原光束的强度及偏振方向进行调整，获得偏振光束；

所述第一物镜用于对所述偏振光束进行聚焦，获得第一聚焦光束；

所述分光模块用于对所述第一聚焦光束进行准直、分光及聚焦处理，获得两束分光聚焦光束；

所述空间光调制器用于对两束所述分光聚焦光束调整相移，获得两束调制光束；

所述偏振分光棱镜用于对两束所述调制光束分成两束垂直的线偏光；

所述光学4F系统用于对两束垂直的所述线偏光进行准直和聚焦，获得两束准直聚焦光束；

所述遮极滤光模块用于对两束所述准直聚焦光束进行遮极和滤光处理，获得两束已过滤光束；

所述二向色镜用于将两束所述已过滤光束反射至所述反射镜，所述反射镜用于将两束所述已过滤光束反射进入所述筒镜，所述筒镜用于对两束所述已过滤光束进行聚焦获得两束第二聚焦光束；

所述第二物镜用于将两束所述第二聚焦光束会聚在物镜焦面上，在所述样件表面干涉产生余弦分布的高对比度结构光条纹，以激发被荧光染色的所述样件并激发出特定波段的荧光；

所述样件到相机依次设有所述第二物镜、所述筒镜、所述反射镜和所述二向色镜；

所述筒镜还用于对所述特定波段的荧光进行聚焦；

所述反射镜将聚焦后的聚焦荧光反射至所述二向色镜；

所述二向色镜用于通过所述聚焦荧光至所述相机，在所述相机上形成预设大视场的超分辨图像。

2.根据权利要求1所述的基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述偏振模块包括第一偏振片和第二偏振片；

所述第一偏振片用于对所述原光束的强度进行调整，获得强度调整光束；

所述第二偏振片用于对所述强度调整光束的偏振方向进行调整，获得偏振光束。

3.如权利要求1所述的基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述分光模块包括第一透镜、光栅和第二透镜；

所述第一透镜用于对聚焦后的第一聚焦光束进行准直，获得第一准直光束；

所述光栅用于对所述第一准直光束进行分光，获得两束分光光束；

所述第二透镜用于对两束所述分光光束进行再聚焦，获得两束分光聚焦光束。

4.如权利要求1所述的基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述光学4F系统包括第三透镜和第四透镜；

所述第三透镜用于对两束垂直的所述线偏光进行准直，获得两束第二准直光束；

所述第四透镜用于对两束所述第二准直光束进行聚焦，获得两束准直聚焦光束。

5.如权利要求1所述的基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述遮极滤光模块包括遮极、滤光片和第五透镜；

所述遮极用于对两束所述准直聚焦光束进行遮极处理，获得±1级衍射条纹；

所述滤光片用于对所述±1级衍射条纹进行过滤，获得两束已过滤光束；

所述第五透镜与所述筒镜组成望远系统，以使入射至所述第二物镜的两束所述第二聚焦光束为平行光。

6.如权利要求1～5中任一项所述的基于空间光调制器的大视场激光干涉系统，其特征在于，所述预设大视场为1mm大视场；所述相机的象元尺寸≤5um，采用的像素≥4200*3200，同时与所述空间光调制器的尺寸相匹配。