[实用新型]高纯氪/氙气体净化装置

权利要求书

1.高纯氪/氙气体净化装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的顶部焊接有垂直柱（2），所述垂直柱（2）的顶部焊接有放置板（3），所述放置板（3）的顶部固定安装有储存箱（4），所述储存箱（4）的外表面固定安装有第一排气管（5），所述第一排气管（5）的外表面固定安装有阀门（6），所述底板（1）的顶部固定连接有处理箱（7），所述第一排气管（5）的外表面与处理箱（7）的顶部固定连接，所述处理箱（7）的外表面固定安装有传输管（8），所述传输管（8）远离处理箱（7）的一端固定安装有转换箱（9），所述转换箱（9）的底部与底板（1）的顶部固定连接，所述处理箱（7）的底部设置有过滤装置，所述第一排气管（5）的外表面固定连接有圆盘（10），所述圆盘（10）的底部固定安装有轴承（11），所述轴承（11）的内表面固定连接有套管（12），所述套管（12）的外表面开设有出气孔（13）。

2.根据权利要求1所述的高纯氪/氙气体净化装置，其特征在于：所述过滤装置包括第一滤网（14），所述第一滤网（14）的外表面与处理箱（7）的内表面固定连接，所述处理箱（7）的内表面固定连接有第二滤网（16），所述处理箱（7）的内部填充有活性炭（15）。

3.根据权利要求1所述的高纯氪/氙气体净化装置，其特征在于：所述转换箱（9）的顶部固定安装有冷凝器（17），所述冷凝器（17）的进水口固定连接有进水管（18），所述冷凝器（17）的出水口固定连接有冷却箱（19），所述冷却箱（19）的外表面设置有排气装置。

4.根据权利要求3所述的高纯氪/氙气体净化装置，其特征在于：所述排气装置包括第二排气管（20），所述第二排气管（20）的外表面与转换箱（9）的内部固定连接，所述转换箱（9）的外表面设置有控制装置。

5.根据权利要求4所述的高纯氪/氙气体净化装置，其特征在于：所述控制装置包括开关（22），所述开关（22）的外表面与转换箱（9）远离传输管（8）的一侧固定连接，所述第二排气管（20）的内部固定安装有电磁阀（21），所述电磁阀（21）与开关（22）电性连接。