[实用新型]一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了真空镀膜机设备技术领域的一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的上表面中心位置开设有镀膜仓，所述真空镀膜机的前端面下方开设有烘干仓，所述镀膜仓的内部中心位置开设有放置仓，所述放置仓内部底端中心位置安装有调节机构，所述烘干仓的内部底端安装有安装架，其结构合理，本实用新型通过设有调节机构，使板型工件放置在放置座A上的放置槽A中，操作调节机构即可将板型工件进行调节夹持，实现了真空镀膜机具有可稳定调节的作用，同时结构简单、操作方便，省去大量繁琐步骤，有效的提高了真空镀膜机的工作效率及运行过程中的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机设备技术领域，具体为一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有的真空镀膜机存在的缺陷是：多数真空镀膜机结构固定且无法调节，当工件进行真空镀膜时，由于无法调节安装及夹持，进而导致放置时有松动产生，造成在真空状态下位置偏移的情况发生，同时，也导致使用不方便的情况，降低了使用效果。

因此需要研发一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机，通过设有调节机构，使板型工件放置在放置座A上的放置槽A中，操作调节机构即可将板型工件进行调节夹持，实现了真空镀膜机具有可稳定调节的作用，以解决上述背景技术中提出真空镀膜机无法稳定调节的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种结构稳定的便于调节的真空镀膜机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的上表面中心位置开设有镀膜仓，所述真空镀膜机的前端面下方开设有烘干仓，所述镀膜仓的内部中心位置开设有放置仓，所述放置仓内部底端中心位置安装有调节机构，所述烘干仓的内部底端安装有安装架。

优选的，所述镀膜仓的内部两侧均设有进液仓，所述真空镀膜机的顶部后端安装有控制箱。

优选的，所述真空镀膜机的前端面下方安装有安全门，所述安全门与真空镀膜机之间通过合页铰接连接，所述合页安装在安全门的一侧外壁上方和下方。

优选的，所述放置仓的内部底端中心位置安装有放置座A，所述放置座A位于调节机构相对一侧之间，所述放置座A的表面中心位置开设有放置槽A。

优选的，所述调节机构包括安装座，所述安装座的两侧内壁上方均开设有滑槽，所述安装座的上表面两侧均开设有通孔。

优选的，所述安装座的内部安装有支撑板，所述支撑板的两侧外壁上均设有滑块，所述滑块的外壁与滑槽的孔壁滑动连接，所述支撑板的顶部两侧均设有连接杆，所述连接杆的外壁与通孔的孔壁滑动连接。

优选的，所述连接杆的一端贯穿通孔与卡块的底部固定连接，所述卡块的下表面中心位置开设有卡槽，所述连接杆的外壁下方设有弹簧，所述弹簧位于支撑板与安装座的内部顶端之间。

优选的，所述安装架的顶部安装有放置座B，所述放置座B的表面均开设有放置槽B，所述放置槽B的两侧内壁上均设有橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：