[实用新型]一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置有效
申请号: | 202122712020.X | 申请日: | 2021-11-08 |
公开(公告)号: | CN216192842U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 戎家亮;向飞;何桥 | 申请(专利权)人: | 安徽应友光电科技有限公司 |
主分类号: | C25D17/08 | 分类号: | C25D17/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 239500 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电解 回收 pvd gs 阳极 可拆卸 限位 装置 | ||
本实用新型公开了一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置,包括挂具主板,挂具主板的顶部通过六角螺栓和不锈钢螺母的配合安装有可拆卸挂钩,挂具主板的两侧固接有若干嵌入式GS工装支撑柱,嵌入式GS工装支撑柱的一侧两端分别固接有导向限位三角块。本实用采用的可拆卸式的设备,连接挂具主板和挂钩,能够有效降低工作中因单一方面损坏而导致整个挂具无法使用的风险;且设计有备用螺孔,更加增强了设备的重复性使用功能;挂具主板上GS载具具有定位功能,能使GS正好搭载在载具中,且双重载具可有效降低GS掉落的风险。本挂具具有结构简单,重复利用率高,大幅度延长挂具的使用寿命,零件可替换性强等优点,极大程度的降低了生产成本。
技术领域
本实用新型涉及液晶显示面板制造技术领域,具体为一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置。
背景技术
随着显示技术日益升级,液晶面板向大尺寸、超高清方向发展已成为必然趋势。在上述液晶显示面板的制造过程中,需要使用物理气相沉积(Physical vapor deposition,简称 PVD)工艺来沉积一些功能薄膜。一般地,在物理气相沉积过程中,工艺腔的内壁上的薄膜堆积到一定程度就会掉落到玻璃基板上,导致玻璃基板发生不良。为避免不良现象,需要在一定的生产周期后,对工艺腔进行拆解清洗,去除工艺腔内壁上形成的薄膜污染物。
传统的铜膜PVD中GS在清洗再生时通常是经过硝酸浸泡,反应成为硝酸铜溶液,再经碱沉淀为氢氧化铜后,加入硫酸变成硫酸铜溶液,成为电解液。过程繁琐,且造成成本上的增加。传统挂具为一个整体方框,简易且易坏,人工维护及材料成本高,且易造成GS整体堆积在一起,GS表面无法全部暴露在溶液中,为此我们提出一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电解回收铜膜PVD中GS的阳极可拆卸限位挂具装置,包括挂具主板,所述挂具主板的顶部通过六角螺栓和不锈钢螺母的配合安装有可拆卸挂钩,所述挂具主板的两侧固接有若干嵌入式GS工装支撑柱,所述嵌入式GS工装支撑柱的一侧两端分别固接有导向限位三角块。
优选的,所述挂具主板的长为0.3~1.5m,宽为0.1~0.5m,厚度为0.1~50mm,材质为钛合金。
优选的,所述可拆卸挂钩材质为导电率很高的铜并且为钩型结构。
优选的,所述可拆卸挂钩的一侧中部贯穿设有备用螺纹孔。
优选的,所述六角螺栓为M8六角组立螺栓,所述不锈钢螺母为M8不锈钢螺母。
优选的,所述嵌入式GS工装支撑柱与挂具主板一体化成型,所述导向限位三角块为直角三棱柱结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用采用的可拆卸式的设备,连接挂具主板和挂钩,能够有效降低工作中因单一方面损坏而导致整个挂具无法使用的风险;且设计有备用螺孔,更加增强了设备的重复性使用功能;挂具主板上GS载具具有定位功能,能使GS正好搭载在载具中,且双重载具可有效降低GS掉落的风险;本挂具具有结构简单,重复利用率高,大幅度延长挂具的使用寿命,零件可替换性强等优点,极大程度的降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型侧视图。
图中:挂具主板1、可拆卸挂钩2、备用螺纹孔21、六角螺栓3、不锈钢螺母4、嵌入式GS工装支撑柱5、导向限位三角块6。
具体实施方式
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