[实用新型]一种高温真空压印设备有效
申请号: | 202122735157.7 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN216248755U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 余剑;张帅;邓萌萌;张宴菱;王青蓝 | 申请(专利权)人: | 璞璘科技(杭州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 杭州中港知识产权代理有限公司 33353 | 代理人: | 张晓红 |
地址: | 310000 浙江省杭州市富阳区银*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高温 真空 压印 设备 | ||
本实用新型提供一种高温真空压印设备,包括真空箱、真空泵、加热盘、施压板组件、电缸和可编程逻辑控制器PLC,加热盘和施压板组件设置在真空箱内腔中,电缸与施压板组件连接,用于驱动施压板组件上下移动,电缸与可编程逻辑控制器PLC电连接,施压板组件包括设置在施压板组件底部的施压板,加热盘固定设置在施压板组件下方,加热盘包括加热部件,加热部件与可编程逻辑控制器PLC电连接,加热盘内设有温度传感器、冷却液/气进口、冷却液/气出口以及冷却管路,温度传感器与可编程逻辑控制器PLC电连接,冷却液/气进口、冷却液/气出口连接有冷却液/气循环装置,冷却液/气循环装置与可编程逻辑控制器PLC电连接。
技术领域
本实用新型属于压印技术领域,尤其是涉及一种高温真空压印设备。
背景技术
目前市面上的用于实验室的纳米自动压印机,大多采用气压方式施压,压印机样品最高也只能加热到250℃左右,但随着新材料的应用以及新的工艺要求的出现,需要一款能在500℃高温并且真空的环境下,进行纳米压印工艺,以填补500℃高温真空环境下的热压印设备的空白。
实用新型内容
本实用新型旨在解决上述技术问题,提供一种高温真空压印设备。
为了达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种高温真空压印设备,包括真空箱、真空泵、加热盘、施压板组件、电缸和可编程逻辑控制器PLC,所述真空泵与所述真空箱连接,用于将真空箱内腔抽真空,所述加热盘和施压板组件设置在所述真空箱内腔中,所述电缸与所述施压板组件连接,用于驱动所述施压板组件上下移动,所述电缸与所述可编程逻辑控制器PLC电连接,所述施压板组件包括设置在所述施压板组件底部的施压板,所述加热盘固定设置在所述施压板组件下方,所述加热盘包括加热部件,所述加热部件与所述可编程逻辑控制器PLC电连接,所述加热盘内设有温度传感器、冷却液/气进口、冷却液/气出口以及冷却管路,所述温度传感器与所述可编程逻辑控制器PLC电连接,所述冷却管路的两端分别与所述冷却液/气进口、冷却液/气出口连接,所述冷却液/气进口、冷却液/气出口连接有冷却液/气循环装置,所述冷却液/气循环装置与所述可编程逻辑控制器PLC电连接。
作为优选,所述高温真空压印设备还包括若干导柱和球头调整件,所述球头调整件包括脚套和球头部件,所述球头部件的底端设有球头,所述球头转动设置在所述脚套内,所述脚套固定设置在所述施压板组件的顶部,所述电缸包括动力输出轴,所述动力输出轴的下端与所述球头部件的上端固定连接。
作为优选,所述真空箱上设有供所述动力输出轴穿过的动力输出轴安装孔,所述真空箱上在所述动力输出轴安装孔上固定安装有轴向动态密封件,所述动力输出轴与所述轴向动态密封件滑动配合。通过轴向轴向动态密封件,保证动力输出轴在上下运动时,真空箱腔内仍保持真空状态。
作为优选,所述高温真空压印设备还包括固定顶板,所述固定顶板设置在所述施压板组件的上方,所述固定顶板与各导柱固定连接。
作为优选,所述施压板组件的下方还固定设有底板、隔热板和保温外壳,所述隔热板固定设置在所述加热盘的下面,所述保温外壳包裹在所述加热盘和所述隔热板外,所述加热盘、隔热板和保温外壳固定安装在所述底板的上面。通过隔热板、保温外壳、真空箱内的真空环境,大大降低了由于热传导、热对流、热辐射的热量损失,大大提高了升温速度和能源利用率。
作为优选,所述真空箱上设有用于断开和连通真空箱内腔和外界大气的电磁阀,所述电磁阀与所述可编程逻辑控制器PLC电连接。
作为优选,所述真空箱包括真空箱箱体和真空箱箱门,所述真空箱箱门通过转轴转动连接在所述真空箱箱体上,所述真空箱箱体在与所述真空箱箱门的接触部分设有一圈密封槽,所述密封槽内设有密封圈以密封真空箱箱体和真空箱箱门之间的间隙。
作为优选,所述真空箱内设有用于安装所述加热盘、底板、隔热板和保温外壳的安装架,所述安装架固定设置在所述真空箱内腔的侧壁上。
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