[实用新型]一种曝光机防尘机构有效

专利信息
申请号: 202122753090.X 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN216248760U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 郑志忠;李家鹏 申请(专利权)人: 苏州兴胜科半导体材料有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州博联知识产权代理有限公司 44663 代理人: 马天鹰
地址: 215126 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 防尘 机构
【权利要求书】:

1.一种曝光机防尘机构,其特征在于,包括:

安装框;

滤芯,所述滤芯密封活动安装在所述安装框内;

凹槽,所述凹槽开设在所述安装框的底部内壁上,且所述凹槽的内壁与滤芯密封活动连接;

固定杆,所述固定杆固定安装在所述滤芯的底部;

安装槽,所述安装槽开设在所述凹槽的底部内壁上;

卡块,所述卡块固定安装在所述固定杆的底端,且所述卡块与安装槽的内壁活动连接;

滑动槽,所述滑动槽开设在所述安装槽的一侧内壁上;

锁定块,所述锁定块滑动安装在所述滑动槽内,且所述锁定块与卡块活动连接。

2.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述安装框上固定安装有进气管,且所述进气管与安装框相连通。

3.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述凹槽内对称固定安装有两个第一弹簧,两个所述第一弹簧的顶端均与滤芯活动连接。

4.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述卡块上开设有放置槽,所述固定杆上滑动安装有解除块,所述解除块与所述放置槽的内壁活动连接,所述解除块与锁定块相适配。

5.根据权利要求4所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述固定杆上固定套设有挡板,所述固定杆上滑动套设有第二弹簧,所述第二弹簧的顶端与挡板固定连接,所述第二弹簧的底端与解除块固定连接。

6.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述滑动槽的底部内壁上开设有限位槽,所述限位槽内固定安装有稳定杆,所述锁定块上固定安装有限位块,所述限位块的底部延伸至限位槽内并与稳定杆滑动连接。

7.根据权利要求6所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述稳定杆上滑动套设有第三弹簧,所述第三弹簧的一端与限位槽的内壁固定连接,所述第三弹簧的另一端与限位块固定连接。

8.根据权利要求7所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述第三弹簧的弹力大于第二弹簧的弹力。

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