[实用新型]一种曝光机防尘机构有效
申请号: | 202122753090.X | 申请日: | 2021-11-11 |
公开(公告)号: | CN216248760U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 郑志忠;李家鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州兴胜科半导体材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州博联知识产权代理有限公司 44663 | 代理人: | 马天鹰 |
地址: | 215126 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 防尘 机构 | ||
1.一种曝光机防尘机构,其特征在于,包括:
安装框;
滤芯,所述滤芯密封活动安装在所述安装框内;
凹槽,所述凹槽开设在所述安装框的底部内壁上,且所述凹槽的内壁与滤芯密封活动连接;
固定杆,所述固定杆固定安装在所述滤芯的底部;
安装槽,所述安装槽开设在所述凹槽的底部内壁上;
卡块,所述卡块固定安装在所述固定杆的底端,且所述卡块与安装槽的内壁活动连接;
滑动槽,所述滑动槽开设在所述安装槽的一侧内壁上;
锁定块,所述锁定块滑动安装在所述滑动槽内,且所述锁定块与卡块活动连接。
2.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述安装框上固定安装有进气管,且所述进气管与安装框相连通。
3.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述凹槽内对称固定安装有两个第一弹簧,两个所述第一弹簧的顶端均与滤芯活动连接。
4.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述卡块上开设有放置槽,所述固定杆上滑动安装有解除块,所述解除块与所述放置槽的内壁活动连接,所述解除块与锁定块相适配。
5.根据权利要求4所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述固定杆上固定套设有挡板,所述固定杆上滑动套设有第二弹簧,所述第二弹簧的顶端与挡板固定连接,所述第二弹簧的底端与解除块固定连接。
6.根据权利要求1所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述滑动槽的底部内壁上开设有限位槽,所述限位槽内固定安装有稳定杆,所述锁定块上固定安装有限位块,所述限位块的底部延伸至限位槽内并与稳定杆滑动连接。
7.根据权利要求6所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述稳定杆上滑动套设有第三弹簧,所述第三弹簧的一端与限位槽的内壁固定连接,所述第三弹簧的另一端与限位块固定连接。
8.根据权利要求7所述的曝光机防尘机构,其特征在于,所述第三弹簧的弹力大于第二弹簧的弹力。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州兴胜科半导体材料有限公司,未经苏州兴胜科半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122753090.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种储水式热水器冷热水隔离的结构
- 下一篇:一种新型的检测机构