[实用新型]碳氯系化合物量测系统有效
申请号: | 202122755890.5 | 申请日: | 2021-11-11 |
公开(公告)号: | CN216434052U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 张家如;张清淦;王李杰;李信蔚;干成果;许炎钦;胡晗 | 申请(专利权)人: | 上海密亚科技有限公司;台积电(南京)有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;G08B7/06;F16F15/02 |
代理公司: | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人: | 徐科飞 |
地址: | 200030 上海市徐*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳氯系 化合物 系统 | ||
1.碳氯系化合物量测系统,包括放置块体(1),其特征在于:所述放置块体(1)一侧的上方设置有氯气传感器(11),且氯气传感器(11)与放置块体(1)通过卡槽固定连接,所述放置块体(1)一侧的下端设置有固定底板(14),所述固定底板(14)的下方设置有声光报警器(15),且声光报警器(15)与放置块体(1)焊接连接,所述氯气传感器(11)与声光报警器(15)通过电性连接,所述放置块体(1)的上方设置有数据分析仪(8),且数据分析仪(8)与放置块体(1)通过卡槽固定连接。
2.根据权利要求1所述的碳氯系化合物量测系统,其特征在于:所述放置块体(1)的一侧设置有防尘板块(2),且防尘板块(2)与放置块体(1)通过卡槽固定连接,所述防尘板块(2)设置有两个,两个所述防尘板块(2)的中间位置设置有搬动横柱块(3),且搬动横柱块(3)与放置块体(1)通过卡槽焊接连接,所述防尘板块(2)的一端设置有防尘孔(4),且防尘孔(4)设置有两个以上。
3.根据权利要求1所述的碳氯系化合物量测系统,其特征在于:所述放置块体(1)的一侧设置有检修盖(5),且检修盖(5)与放置块体(1)通过卡槽固定连接,所述检修盖(5)一侧的上方设置有观察玻璃块(6),且观察玻璃块(6)与检修盖(5)粘贴连接,所述观察玻璃块(6)的下方设置有检修盖把手(7),且检修盖把手(7)与检修盖(5)通过卡槽焊接连接。
4.根据权利要求1所述的碳氯系化合物量测系统,其特征在于:所述固定底板(14)的上方设置有气体罐限位圆块(10),且气体罐限位圆块(10)与放置块体(1)焊接连接,所述气体罐限位圆块(10)的内部设置有二氯甲烷气体罐(9),所述二氯甲烷气体罐(9)上方的一侧设置有电导体放置槽(12)。
5.根据权利要求1所述的碳氯系化合物量测系统,其特征在于:所述放置块体(1)内部的一侧设置有防护垫块(13),且防护垫块(13)与放置块体(1)粘贴连接,所述放置块体(1)内部的下方设置有抗震底块(16),且抗震底块(16)与放置块体(1)通过卡槽焊接连接,所述放置块体(1)的内部设置有放置横板(18),且放置横板(18)与放置块体(1)通过卡块固定连接,所述放置横板(18)的上方设置有加热器(20),所述加热器(20)的下方设置有气体采样泵(19),所述气体采样泵(19)的下方设置有稀释校正仪(17)。
6.根据权利要求3所述的碳氯系化合物量测系统,其特征在于:所述检修盖(5)的外部设置有检修盖防晃动内垫(21),且检修盖防晃动内垫(21)与放置块体(1)粘贴连接,所述检修盖(5)的一端设置有卡接横块(23),所述卡接横块(23)的外部设置有限位锥形块(24),且限位锥形块(24)与卡接横块(23)焊接连接,所述限位锥形块(24)的外部设置有限位下块(22),且限位下块(22)与检修盖(5)焊接连接。
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