[实用新型]一种切片机切割线垂直度的测量装置及切片设备

说明书

本实用新型公开一种切片机切割线垂直度的测量装置及切片设备，涉及晶棒加工技术领域，以方便测量收放线轮与切片机主辊之间的切割线的垂直度，并且提高测量效率和测量精度。所述切片机切割线垂直度的测量装置包括：底座，至少两个测量结构，两个所述测量结构均以预设角度α平行设置在所述底座的同一侧。

技术领域

本实用新型涉及晶棒加工技术领域，尤其涉及一种切片机切割线垂直度的测量装置及切片设备。

背景技术

切片机对晶棒切片过程中，晶棒与切片机的切割部接触，从而完成切片。切割部包括至少两个切片机主辊以及设在至少两个切片机主辊上的切割线网。切片时，切割线网与晶棒接触，对晶棒进行切割加工。

切割线网由收放线轮释放的切割线缠绕在至少两个切片机主辊上形成。为了提高切割精度，减少切割过程中的斜拉跳线现象，降低断线率，布好切割线网后，收放线轮与切片机主辊之间的切割线必须与切割线网的切割面垂直。

现有技术中，通过操作人员使用尺子对收放线轮与切片机主辊之间的切割线的多个地方进行测量，实现收放线轮与切片机主辊之间的切割线与切割线网的切割面垂直。但是，操作人员通过尺子测量，不仅操作不方便，测量效率低，而且测量不精准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种切片机切割线垂直度的测量装置切片设备，以方便测量收放线轮与切片机主辊之间的切割线的垂直度，并且提高测量效率和测量精度。

第一方面，本实用新型提供一种切片机切割线垂直度的测量装置，包括：底座，至少两个测量结构，两个所述测量结构均以预设角度α平行设置在所述底座的同一侧。

采用上述技术方案的情况下，将本实用新型提供的切片机切割线垂直度的测量装置应用于测量收放线轮与切片机主辊之间的切割线的垂直度时，可以先将底座固定在切片机主辊机架的侧壁上，此时，位于底座同一侧的至少两个测量结构向靠近切割线的方向延伸，并在切割线的长度延伸方向上分布在切割线不同的位置。当两个测量结构的测量结果一致的情况下，可以判断切割线的垂直度较高，而当两个测量结构的测量结果不一致的情况下，可以判断切割线的垂直较差。也就是说，利用本实用新型提供的测量装置相对于现有技术采用的操作人员手持测量尺测量，具有操作方便、效率高且精度高的优点。

作为一种实现方式，30°≤α≤150°。

作为一种实现方式，底座包括至少两个承载块，测量结构与承载块连接，连杆，承载块设置在连杆上。

采用上述技术方案的情况下，由连杆和承载块构成底座，其中，承载块用于连接测量结构，连杆用于连接承载块。在实际使用中，可以抓取连杆将承载有测量结构的底座与切片机主辊机架的侧壁连接在一起。基于此，可以有效的确保各个承载块之间定位的一致性，从而确保测量结构所具有的测量基准点的一致性，使得测量结果的精度较高。

作为一种实现方式，相邻两个承载块之间的间距可调。如此设置，承载块之间的间距可以根据实际测量工况调大或调小，从而提高本实用新型提供的测量装置的适用范围。

作为一种实现方式，连杆的两端均具有螺纹段，承载块旋接于螺纹段。承载块在螺纹段的位置确定的情况下，承载块相对的两端均由旋接于螺纹段的螺母固定。如此设置，承载块在连杆上位置确定的情况下，采用螺母进一步固定，降低承载块在测量过程中相对于连杆位置发生变化的基础上，可以确保测量结构在测量过程中位置的一致性，从而提高测量结果的精度。

作为一种实现方式，承载块远离切割线的一端具有磁吸部。如此设置，在实际使用时，可以利用磁吸部的磁吸力将测量装置与切片机主辊机架的侧壁连接在一起，具有连接方便、效率高和灵活的优点。

作为一种实现方式，所述测量结构均包括：测量尺，测量尺以预设角度α连接于底座。不同测量结构所具有的测量尺相互平行，不同测量结构所具有的测量尺的刻度线一一对应。