[实用新型]真空手指和晶圆传送系统

权利要求书

1.一种真空手指，其特征在于，其包括第一支撑件、第二支撑件和标记件，所述第一支撑件和所述第二支撑件相对设置，且分别与所述标记件的相对的两端连接，

所述第一支撑件相对远离所述标记件的一端设置有第一环形磨面凸起，

所述第二支撑件相对远离所述标记件的一端均设置有第二环形磨面凸起，所述标记件上设置有第三环形磨面凸起，且所述第一环形磨面凸起、所述第二环形磨面凸起和所述第三环形磨面凸起呈三角形设置，以实现能够对晶圆进行固定。

2.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述第一环形磨面凸起、所述第二环形磨面凸起和所述第三环形磨面凸起呈等腰三角形设置。

3.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述第一环形磨面凸起、所述第二环形磨面凸起和所述第三环形磨面凸起均为表面粗糙的空心半球体。

4.根据权利要求3所述的真空手指，其特征在于，沿所述空心半球体的直径方向设置有多条环形缝隙，且多条所述环形缝隙和所述空心半球体在水平面上的投影呈同心圆环。

5.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述标记件同时相对远离所述第一支撑件和所述第二支撑件的一端设置有至少一条晶圆标记线，且所述第三环形磨面凸起相对靠近所述第一支撑件和所述第二支撑件与所述标记件连接的一侧。

6.根据权利要求5所述的真空手指，其特征在于，所述标记件同时相对靠近所述第一支撑件和所述第二支撑件的一侧设置有弧形切口，所述弧形切口的弧心与所述第三环形磨面凸起在同一水平线上。

7.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述第一支撑件和所述第二支撑件之间为空心结构。

8.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述真空手指还包括手指件，所述手指件与所述标记件同时相对远离所述第一支撑件和所述第二支撑件的一端通过连接件连接，且沿所述标记件至所述手指件的方向，所述连接件的宽度逐渐降低。

9.根据权利要求1所述的真空手指，其特征在于，所述真空手指的表面设置有微弧氧化层。

10.一种晶圆传送系统，其特征在于，其包括权利要求1-9任一项所述的真空手指。