[实用新型]一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置，具体涉及冷却装置技术领域，包括上端环形冷却箱，所述上端环形冷却箱的下方设置有下端环形冷却箱，所述上端环形冷却箱的上方设置有安装环，所述上端环形冷却箱的两侧固定连接有导向轮，所述安装环固定连接在生长炉隔砖的下端，所述安装环的下端开设有安装槽，所述安装槽内设置有电动辊筒，所述电动辊筒上缠绕有牵引绳，所述牵引绳的一端与导向轮固定连接，所述上端环形冷却箱和下端环形冷却箱之间转动连接有支撑杆，该冷却装置便于上下移动，控制与坩埚之间距离，利于产生晶体生长的大梯度温场，保证晶体生长的质量。

技术领域

本实用新型属于冷却装置技术领域，具体涉及一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置。

背景技术

非真空下降炉广泛用于生长氧化物晶体和卤化物晶体，下降炉的温度梯度分布对晶体生长有决定性的影响，然而要获得大梯度的温度分布比较困难，而且对晶体生长有利的大梯度温度对于晶体生长后的退火冷却很不利，容易导致晶体应力大甚至碎裂，另外随着坩埚逐步下降，低温区被不断加热，导致温度梯度逐步变小，温度梯度不稳定，对晶体生长的稳定性和质量产生很大影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置投入使用，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置，包括上端环形冷却箱，所述上端环形冷却箱的下方设置有下端环形冷却箱，所述上端环形冷却箱的上方设置有安装环，所述上端环形冷却箱的两侧固定连接有导向轮，所述安装环固定连接在生长炉隔砖的下端，所述安装环的下端开设有安装槽，所述安装槽内设置有电动辊筒，所述电动辊筒上缠绕有牵引绳，所述牵引绳的一端与导向轮固定连接，所述上端环形冷却箱和下端环形冷却箱之间转动连接有支撑杆，所述上端环形冷却箱和下端环形冷却箱之间通过金属盘管连通，所述下端环形冷却箱的一侧面固定连接有安装箱，所述安装箱内设置有循环泵，所述循环泵的一端通过循环管与下端环形冷却箱连通，所述循环泵的另一端通过循环管与上端环形冷却箱连通。

优选的，所述循环管的外侧套接有冷却筒，所述冷却筒的内壁设置有保温层，所述冷却筒的顶端设置有密封塞，所述冷却筒的内部填充有冰袋。

优选的，所述冷却筒的内侧面设置有导热块，所述导热块与循环管接触。

优选的，所述支撑杆的表面设置有清洁毛，所述支撑杆上固定连接有从动齿轮。

优选的，所述导向轮的两侧固定连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的正面啮合有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的底端固定连接有连接轴，所述连接轴的底端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

优选的，所述连接轴上转动连接有套筒，所述套筒通过固定杆固定在上端环形冷却箱的外侧面上。

本实用新型的技术效果和优点：(1)该动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置，通过设置有上端环形冷却箱、下端环形冷却箱和金属盘管，可以对下降至低温区的坩埚进行冷却，保证坩埚在低温区具有较大的温度梯度，进而保证晶体的生长质量。

(2)利用电动滚筒可以带动金属盘管上下运动，便于控制金属盘管与坩埚的距离，可以形成有利于晶体生长的大梯度温场，并且即使坩埚下降导致低温区被不断加热的现象，也因为冷却装置具有较强的强制散热作用，被大幅度限制，温度梯度变化不大，并且相对比较稳定，可以自始至终提供有利于晶体生长的稳定大梯度温场。

(3)通过设置有冷却筒，冷却筒内设置有冰袋，可以对循环管内的冷却介质进行冷却，从而保证金属盘管内部的；冷却介质始终处于低温状态，延长该冷却装置的使用时间。