[实用新型]一种高纯多晶硅生产系统

权利要求书

1.一种高纯多晶硅生产系统，包括还原装置、尾气回收装置、精馏塔组一、反应器一、精馏塔组二、氢化装置、渣浆装置、精馏塔组三和反应器二，其特征在于，所述精馏塔组一的底部出口通过四氯化硅源一连接到所述反应器一的入口，所述精馏塔组三的顶部出口通过二氯二氢硅源二连接到所述反应器一的入口，所述精馏塔组一的顶部出口通过二氯二氢硅源一连接到所述反应器二的入口，所述精馏塔组二的底部出口通过四氯化硅源三连接到所述反应器二的入口，所述反应器一的出口通过产品一和所述精馏塔组二的上部入口连接，所述反应器二的出口通过产品二和所述精馏塔组二的下部入口连接，所述精馏塔组二的上部出口和所述精馏塔组三的上部入口连接。

2.根据权利要求1所述的一种高纯多晶硅生产系统，其特征在于，所述精馏塔组一包含2-3个精馏塔。

3.根据权利要求1所述的一种高纯多晶硅生产系统，其特征在于，所述精馏塔组二包含1-2个精馏塔。

4.根据权利要求1所述的一种高纯多晶硅生产系统，其特征在于，所述精馏塔组三包含3-4个精馏塔。