[实用新型]一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿有效
申请号: | 202122810092.8 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN216864299U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 王前;巩鹏程;任学美;巩长生 | 申请(专利权)人: | 山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人: | 邓鸣 |
地址: | 255086 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 陶瓷 蒸发皿 | ||
本实用新型公开了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿,包括皿体,所述皿体顶部开设有凹槽,所述皿体通过两个第一导水管连接有测量管,每个所述第一导水管上均安装有两个用于连接的第二导水管,所述测量管内开设有滑腔,所述滑腔底部放置有浮球,所述滑腔与凹槽相连通,所述浮球的顶部一体连接有指示机构,所述指示机构的端部位于测量管的上方,所述测量管的顶部通过定位机构紧固安装有指示条,所述指示条的一侧开设有滑口,所述指示机构的端部位于滑口内。本实用新型涉及蒸镀设备技术领域,解决了现有的蒸镀蒸发皿液位计使用受限且观察过程容易出现误差的问题。
技术领域
本实用新型涉及蒸镀设备技术领域,尤其涉及一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿。
背景技术
蒸镀加工,是一种将金属浆料于真空环境中加热,使浆料气化后沉淀到产品上,以此来于产品上形成薄膜的一种加工方法,其又称真空蒸镀或真空镀膜。蒸镀加工中往往需要使用金属蒸发皿,以便于金属浆料的承载和加热,但是目前常见的金属蒸发皿在使用过程中往往会对金属浆料造成污染,并且在加热时,还常会出现金属浆料的爬壁和粘壁现象,在蒸镀加工过程中,用户往往需要观察蒸发皿的液位变化情况,以了解当前的加工速度,加工效果等加工情况,来便于适时对加热温度等参数进行调整,以保证能获得良好的蒸镀效果。但由于蒸镀过程中,存在蒸汽影响,加上金属浆料量大,用户难以观察当前蒸发皿的液位变化情况。
针对上述问题,公开号CN210163515U的实用新型专利公开了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿,设置与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连通的液位计,方便用户对蒸镀时氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位变化进行观察。
然而上述专利在实际应用中仍存在以下问题:利用液位计内浮球配合壳体上的刻度实现液位观察,然后在刻度受到磨损等情况导致的刻度清晰度降低时,则整个液位计设备均无法再次使用,容易存在资源浪费,同时浮球观察时因浮球顶部为一曲面,其顶点与刻度线存在间距,一旦观察人员未平视刻度,则会导致观察效果存在误差。
为此,我们提出一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的液位计观察效果容易存在误差且使用寿命较短的问题,而提出的一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿,包括皿体,所述皿体顶部开设有凹槽,所述皿体通过两个第一导水管连接有测量管,每个所述第一导水管上均安装有两个用于连接的第二导水管,所述测量管内开设有滑腔,所述滑腔底部放置有浮球,所述滑腔与凹槽相连通,所述浮球的顶部一体连接有指示机构,所述指示机构的端部位于测量管的上方,所述测量管的顶部通过定位机构紧固安装有指示条,所述指示条的一侧开设有滑口,所述指示机构的端部位于滑口内。
优选地,所述指示机构包括固定在浮球顶部的穿孔,所述测量管的顶部开设有与滑腔连通的开口,所述穿孔的端部穿过开口并延伸至滑口内,所述穿孔位于滑口内的一端一体连接有指示片。
优选地,所述刻度嵌装在滑口的一侧,且所述指示片与刻度相抵。
优选地,所述滑腔内靠近开口的位置固定安装有导向环,所述导向环上开设有导向口,所述穿孔滑动插接在导向口内。
优选地,所述导向口内对称转动连接有两个导向球,所述穿孔与两个导向球相抵。
优选地,所述定位机构包括安装在指示条上的导杆,所述指示片上开设有用于滑动套接导杆的滑孔,所述指示条顶部开设有与滑口连通的螺纹通孔,所述指示条底部开设有与滑口连通的穿口,所述导杆靠近顶端的位置螺纹连接在螺纹通孔内,所述测量管的顶部开设有螺纹盲孔,所述导杆的底端螺纹连接在螺纹盲孔内。
优选地,所述导杆上一体设置有第一外螺纹和第二外螺纹,所述第一外螺纹和第二外螺纹分别与螺纹通孔和螺纹盲孔相适配,且所述导杆位于第一外螺纹位置的外径大于导杆位于第二外螺纹位置的外径。
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