[实用新型]一种半导体框架清理设备有效
申请号: | 202122819005.5 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN217094753U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 周仪;唐伟炜;丁海春;吴庆华;张竞扬;龚凯;柯军松;徐晓枫;李广钦;刘阳;孙涛;戴文兵;张世铭;叶沛 | 申请(专利权)人: | 合肥速芯微电子有限责任公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B5/04;H01L21/48 |
代理公司: | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人: | 王娜娜 |
地址: | 230001 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 框架 清理 设备 | ||
1.一种半导体框架清理设备,其特征在于,包括安装外壳,所述安装外壳一侧设置有密封门,所述安装外壳内部水平设置有置物架,所述置物架上方设置有至少一组清理组件,所述置物架下方设置有至少一根抽气管;
所述清理组件包括安装板,所述安装板通过固定杆安装在所述安装外壳内部,所述安装板一侧外壁上安装有喷气管,所述喷气管靠近所述置物架一端设置有第一喷气头,所述喷气管远离所述第一喷气头一侧外壁上套设有滑块,所述滑块外壁上转动连接有连杆,所述连杆远离所述滑块一端传动连接有驱动电机的驱动端,所述驱动电机安装在所述安装板外壁上。
2.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述驱动电机可采用步进电机。
3.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述置物架上方设置有至少一个第二喷气头,所述第二喷气头安装在所述安装外壳内壁上。
4.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述置物架上方设置有限位组件,所述限位组件包括限位杆,所述限位杆两端均通过安装槽与所述安装外壳内壁活动连接。
5.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述安装外壳内部靠近所述抽气管处为倾斜设置。
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