[实用新型]一种半导体框架清理设备有效

专利信息
申请号: 202122819005.5 申请日: 2021-11-17
公开(公告)号: CN217094753U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 周仪;唐伟炜;丁海春;吴庆华;张竞扬;龚凯;柯军松;徐晓枫;李广钦;刘阳;孙涛;戴文兵;张世铭;叶沛 申请(专利权)人: 合肥速芯微电子有限责任公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B5/04;H01L21/48
代理公司: 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 代理人: 王娜娜
地址: 230001 安徽省合肥市高新区创*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 框架 清理 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体框架清理设备,其特征在于,包括安装外壳,所述安装外壳一侧设置有密封门,所述安装外壳内部水平设置有置物架,所述置物架上方设置有至少一组清理组件,所述置物架下方设置有至少一根抽气管;

所述清理组件包括安装板,所述安装板通过固定杆安装在所述安装外壳内部,所述安装板一侧外壁上安装有喷气管,所述喷气管靠近所述置物架一端设置有第一喷气头,所述喷气管远离所述第一喷气头一侧外壁上套设有滑块,所述滑块外壁上转动连接有连杆,所述连杆远离所述滑块一端传动连接有驱动电机的驱动端,所述驱动电机安装在所述安装板外壁上。

2.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述驱动电机可采用步进电机。

3.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述置物架上方设置有至少一个第二喷气头,所述第二喷气头安装在所述安装外壳内壁上。

4.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述置物架上方设置有限位组件,所述限位组件包括限位杆,所述限位杆两端均通过安装槽与所述安装外壳内壁活动连接。

5.如权利要求1所述的半导体框架清理设备,其特征在于,所述安装外壳内部靠近所述抽气管处为倾斜设置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥速芯微电子有限责任公司,未经合肥速芯微电子有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122819005.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top