[实用新型]一种锂负极锂片表面高效镀膜装置有效
| 申请号： | 202122833634.3 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN216237248U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 徐立球;徐悟宇;江灿灿;邱耀忠;杜厚胜;韩永洪 | 申请（专利权）人： | 江苏德立信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港市中国（江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 负极 表面 高效 镀膜 装置 | ||
1.一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：包括溅射室(1)内腔水平设置有镀膜隔板(2)，两组所述镀膜隔板(2)上下两端侧壁均匀开设有间隔腔孔(3)，所述溅射室(1)外端侧壁固定有电机安装板(4)，所述电机安装板(4)顶部安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)输出端套接有两组主动连杆(6)，两组所述主动连杆(6)外壁分别套接有主动转轮(7)和从动转轮(8)，两组所述主动连杆(6)转动贯穿溅射室(1)侧壁并套接有转动螺杆(9)，所述转动螺杆(9)外壁螺接套设有溅射挡管(10)，所述溅射挡管(10)和镀膜隔板(2)滑动插接，所述溅射室(1)内腔两端侧壁安装有电动伸缩杆(11)，两侧所述电动伸缩杆(11)相对伸缩端设置有夹持紧固机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：所述夹持紧固机构(12)包括两组夹板安装座(1201)，两组夹板安装座(1201)两端侧壁分别和两组电动伸缩杆(11)伸缩端固定连接，两组所述夹板安装座(1201)相对端侧壁开设有固定滑槽(1202)，两侧所述固定滑槽(1202)上分别滑动连接有第一连接夹杆(1203)和第二连接夹杆(1204)，所述第一连接夹杆(1203)和第二连接夹杆(1204)直接通过液压伸缩杆(1205)连接，所述第一连接夹杆(1203)和第二连接夹杆(1204)相对端侧壁固定有紧固夹块(1206)。
3.根据权利要求2所述的一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：两组所述紧固夹块(1206)外端侧壁套接有防滑橡胶套。
4.根据权利要求1所述的一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：所述主动转轮(7)通过连接转带(13)和从动转轮(8)相互套接。
5.根据权利要求1所述的一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：所述溅射室(1)内腔顶部和底部两端侧壁对称安装有靶材(14)。
6.根据权利要求1所述的一种锂负极锂片表面高效镀膜装置，其特征在于：所述溅射室(1)侧壁分别设置有真空泵(15)、加电压装置(16)和进气口(17)。
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