[实用新型]一种工件自脱落吸附平台

说明书

本实用新型提供一种工件自脱落吸附平台包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述基座和微孔陶瓷轴向贯穿有至少两个穿孔，所述穿孔容纳有顶出晶圆片的顶杆，本实用新型在吸附结束后可以通过顶杆将晶圆片直接顶出，不需要额外夹持设备，有利于取样，可有效防止晶圆表面划伤。

技术领域

本实用新型涉及晶圆抓取设备领域，特别地，是一种工件自脱落吸附平台。

背景技术

现有的真空吸盘整体材质为氧化铝陶瓷，表面芯部为微孔陶瓷，利用微孔陶瓷的孔隙使吸盘抽真空获得负压，将晶圆片吸附在吸盘表面，随后用夹具将晶圆片夹持。现有缺点是将晶圆片转移的过程中，夹具容易在晶圆片边缘留下痕迹，划伤损坏晶圆片，同时由于吸盘在做吸附晶圆的瞬时，晶圆碰撞吸盘表面的动能过大，也会划伤晶圆。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种工件自脱落吸附平台，该工件自脱落吸附平台能够使晶圆片转移过程中防止划伤。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

该工件自脱落吸附平台包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述基座和微孔陶瓷轴向贯穿有至少两个穿孔，所述穿孔容纳有顶出晶圆片的顶杆。

作为优选，所述顶杆端部设置有正压通气孔，正压通气可以在脱离晶圆片时平衡微孔陶瓷上的负压，使晶圆片在脱落时不至于十分急促。

本实用新型的优点在于：

本实用新型在吸附结束后可以通过顶杆将晶圆片直接顶出，不需要额外夹持设备，有利于取样，可有效防止晶圆表面划伤。

附图说明

图1是本工件自脱落吸附平台的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

在本实施例中，参阅图1，该工件自脱落吸附平台包括基座100和设置在基座100顶部的微孔陶瓷200，所述基座100的底部设置有向所述微孔陶瓷200提供正负压的气管，所述基座和微孔陶瓷轴向贯穿有至少两个穿孔，所述穿孔容纳有顶出晶圆片的顶杆400，所述顶杆400端部设置有正压通气孔300。

所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围。