[实用新型]一种宽量程的MEMS热式质量流量计

权利要求书

1.一种宽量程的MEMS热式质量流量计，包括设有流道的气路座，所述流道包括主流道和分流道，所述主流道上设置进气口和出气口，其特征在于，所述主流道上设有文丘里管结构，所述分流道上设置第一封装板，所述主流道上设置第二封装板，所述第一封装板上封装有第一MEMS流量芯片，所述第二封装板上封装有第二MEMS流量芯片，所述第一封装板和第二封装板分别与主电路板连接。

2.根据权利要求1所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述第一MEMS流量芯片和第二MEMS流量芯片结构相同，均包括衬底、设置于衬底上方的加热器、上游敏感元件和下游敏感元件，所述上游敏感元件和下游敏感元件位于加热器的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述第一MEMS流量芯片和第二MEMS流量芯片上设有加热器、以及上游敏感元件和下游敏感元件的一侧面向流道设置。

4.根据权利要求1所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述第一MEMS流量芯片、第二MEMS流量芯片分别通过SMT贴片的方法固定在第一封装板、第二封装板上，并通过键合的方法与第一封装板、第二封装板实现电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述第一封装板、第二封装板分别通过插拔或排线与主电路板电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述第二封装板和第二MEMS流量芯片设置在主流道上靠近进气口或出气口的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述流道的截面形状为圆形或多边形。

8.根据权利要求7所述的一种宽量程的MEMS热式质量流量计，其特征在于，所述主流道的截面形状为圆形，分流道的截面形状为矩形。