[实用新型]一种晶圆表面处理设备

说明书

本实用新型公开了一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述烘干风机一端固定连接有排气管，所述排气管另一端固定连接有排气嘴；所述夹持机构包括有安装板，所述安装板一侧固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板另一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定连接有夹具，本实用新型具有烘干效果，且在加工时可将晶圆变换角度进行清理。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆表面处理设备。

背景技术

晶圆生产过程中需要对其表面进行处理，如清洗、电镀或者蚀刻。常用的一种表面清洗方法是将晶圆固定于清洗槽内，清洗液喷向晶圆。清洗液的喷洒装置不断运动以全面清洗晶圆。电镀或者蚀刻也是同样方法。这种装置虽然能够对晶圆表面进行一定的处理，但晶圆无法旋转，无法保证表面均匀处理。这种表面装置很难实现水平清洗、电镀或蚀刻，即晶圆水平地设置在清洗液、电镀液或蚀刻液上方，清洗液、电镀液或蚀刻液自下而上流动至与晶圆接触以清洗晶圆表面。

参照现有公开号为CN108807217A的中国专利公开了一种晶圆表面处理装置及方法，所述晶圆表面处理装置包括工作台、脉冲激光器和水箱，所述工作台用于承载晶圆，所述晶圆具有表层结构，所述脉冲激光器产生激光束，所述水箱设有开口，所述水箱中的液体从所述开口中喷出，所述激光束经过所述开口与所述液体一起投射到所述表层结构上。

上述的这种晶圆表面处理装置及方法，通过脉冲激光器产生激光束，激光束用来剥离晶圆上的表层结构，由水箱从其开口中喷出液体，通过液体冲刷带走附产物；在本发明中，由使激光束经过该开口与该开口中喷出的液体一起投射到晶圆的表层结构上，可实现在剥离表层结构的同时并冲刷带走附产物，经过晶圆表面处理可以形成可重复利用的晶圆，降低了生产成本。但是上述的这种晶圆表面处理装置及方法依旧存在着一些缺点，如：不具有烘干效果，且不能将晶圆变换角度进行清理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面处理设备，具有烘干效果，且在加工时可将晶圆变换角度进行清理，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管贯穿所述加工箱，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述烘干风机一端固定连接有排气管，所述排气管贯穿所述加工箱，所述排气管另一端固定连接有排气嘴；

所述夹持机构包括有安装板，所述安装板固定安装在所述收集箱上端，所述安装板一侧固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板另一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定连接有夹具。

优选的，所述收集箱一侧设有排水管，所述排水管贯穿所述加工箱，所述排水管上固定安装有第一电控阀。

优选的，所述加工箱两侧开设有通风孔，所述通风孔处固定安装有第一过滤网。

优选的，所述水箱上端设有进水管，所述进水管上端螺纹连接有挡盖。

优选的，所述进水管内安装有第二过滤网。

优选的，所述出水管上固定安装有第二电控阀。

优选的，所述夹具为弧形夹具，所述夹具内开设有凹槽，所述凹槽内设有橡胶层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：