[实用新型]一种制绒槽静电导出装置及其制绒设备

权利要求书

1.一种制绒槽静电导出装置，包括制绒槽(1)及若干气动阀门(2)，其特征在于：若干所述气动阀门(2)通过同一导电板(3)固定安装在制绒槽(1)上方，所述导电板(3)接地设置，若干所述气动阀门(2)上均固定安装有将其内部静电导出至导电板(3)上的导电圆环(4)。

2.根据权利要求1所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述导电板(3)固定安装在制绒槽(1)侧壁。

3.根据权利要求2所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述气动阀门(2)的进液端均与一一对应的补液管(5)连通，所述补液管(5)通过螺栓固定安装在制绒槽(1)侧壁，所述补液管(5)与外接泵液装置连通。

4.根据权利要求2所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述气动阀门(2)包括阀体(6)、导电圆环(4)和导电底座(7)，所述导电圆环(4)固定安装在阀体(6)的出液口一侧，所述导电底座(7)固定安装在阀体(6)外部，所述导电圆环(4)与导电底座(7)电性连接，所述气动阀门(2)通过导电底座(7)固定连接在导电板(3)上。

5.根据权利要求4所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述阀体(6)位于出液口一侧设置有外螺纹，所述阀体(6)与端盖(8)螺纹连接，所述阀体(6)与端盖(8)之间还抵靠设置有阀体接口下端(9)。

6.根据权利要求5所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述阀体接口下端(9)与导电圆环(4)抵靠一侧开设有密封槽(10)，所述密封槽(10)内设置有密封胶圈(11)。

7.根据权利要求4所述的一种制绒槽静电导出装置，其特征在于：所述导电圆环(4)与导电底座(7)之间通过导电线(12)连接。

8.一种制绒设备，包括用于进行硅片制绒的制绒槽，其特征在于：该制绒槽采用权利要求1-7任意一项所述的制绒槽静电导出装置。