[实用新型]一种纳米铜电极全铜键合的倒装UV-LED封装结构有效

专利信息
申请号: 202122887428.0 申请日: 2021-11-19
公开(公告)号: CN217280837U 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 柳星星;彭洋;王志涛 申请(专利权)人: 武汉高星紫外光电科技有限公司
主分类号: H01L33/62 分类号: H01L33/62;H01L33/64
代理公司: 北京铭本天律师事务所 11909 代理人: 宋松
地址: 430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区高*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 电极 全铜键合 倒装 uv led 封装 结构
【说明书】:

本实用新型公开了一种纳米铜电极全铜键合的倒装UV‑LED封装结构。封装结构包括倒装UV‑LED芯片、纳米铜电极、透明光窗、三维陶瓷电路板、密封粘接层;所述纳米铜电极位于所述倒装UV‑LED芯片的电极上,用于连接所述倒装UV‑LED芯片和陶瓷电路板,形成出全铜键合结构;所述密封粘接层位于所述透明光窗上,用于密封粘接所述透明光窗和所述三维陶瓷电路板,形成密闭封装腔体结构。所述纳米铜电极全铜键合结构,增强了封装散热能力,降低UV‑LED结温并延长UV‑LED寿命;此外,所述形成的全铜键合结构可降低热膨胀系数失配风险,提高UV‑LED封装可靠性和使用寿命。

技术领域

发明属于LED封装技术领域,更具体地,涉及一种UV-LED封装结构。

背景技术

UV-LED是指发射波长在紫外波段的LED光源,是新一代固态光源,在油墨固化、防伪识别、杀菌消毒、非视距通信和医疗健康等领域有着重要的应用前景。

目前,现有UV-LED封装结构多采用高导热金锡共晶焊料、无铅锡焊料和银胶等固晶材料来固晶封装倒装UV-LED芯片,来满足UV-LED散热要求,但是金锡共晶焊料成本高昂,极大地增加了封装成本,不利于大规模推广应用,而无铅锡焊料和银胶通常含有有机物成分,在固晶封装时,有机物成分易残留在固晶层和粘接层的内部以及UV-LED芯片表面,而有机物抗UV老化能力较差,在长期工作后易发生碳化,最终会影响UV-LED 出光效率和气密性。更重要的是,这些固晶材料与UV-LED芯片和封装电路板之间形成的连接结构为异质结构,存在热膨胀系数不匹配问题,导致容易出现热失配开裂失效问题,严重影响UV-LED芯片可靠性和使用寿命。

实用新型内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求,本实用新型提供了一种纳米铜电极全铜键合的倒装UV-LED封装结构,通过采用纳米铜电极来取代高成本金锡共晶焊料,降低封装成本,同时纳米铜电极在低温键合后,会形成全铜同质键合结构,不仅能增强UV-LED封装散热能力,降低UV-LED结温,还可以降低热膨胀系数失配风险,提高UV-LED封装可靠性和使用寿命。

相应地,为达到上述目的,本实用新型采用了以下技术方案:

一种纳米铜电极全铜键合的倒装UV-LED封装结构,包括倒装UV-LED 芯片、纳米铜电极、透明光窗、三维陶瓷电路板、密封粘接层。首先,通过金属沉积技术在所述倒装UV-LED芯片的电极上沉积一层纳米铜薄膜;然后,将所述倒装UV-LED芯片贴放在所述三维陶瓷电路板的焊盘上,通过低温键合技术连接所述倒装UV-LED芯片和陶瓷电路板,制备出全铜键合结构;最后,在所述透明光窗上均匀涂覆所述密封粘接层,用于密封粘接所述透明光窗和所述三维陶瓷电路板,形成密闭封装腔体结构。

进一步的,芯片和UVC-LED芯片,波长范围为200~390nm。

进一步的,所述金属沉积技术为高压磁控溅射技术、原子层沉积技术和脉冲激光沉积技术。

进一步的,所述纳米铜薄膜厚度为0.2-50μm,纳米铜粒径为10-1000 nm。

进一步的,所述三维陶瓷电路板材质为氧化铝、氮化铝和氧化锆,厚度为0.4~3mm;通过半导体微加工工艺制备线路层,线路层为Ti/Cu、 Ti/Ni/Au、TiO2/Cu和TiO2/Ni/Au等膜层体系,厚度为1~20μm。

进一步的,所述低温键合技术为低温热压键合技术、低温超声键合技术、低温电流辅助键合技术,键合温度低于400℃。

进一步的,所述透明光窗材质为蓝宝石、石英玻璃、紫外玻璃,光窗厚度为0.2~3mm。

进一步的,所述密封粘接层为氟树脂、抗UV类树脂、无机胶、低温玻璃焊料,密封粘接层厚度为50-500μm。

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