[实用新型]一种条形晶片用抛光装置

权利要求书

1.一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片(a)的夹具(1)、用于对外设条形晶片(a)进行抛光的抛光平台(2)、用于向抛光平台(2)加注抛光液的抛光液管(3)，其特征在于，还包括一用于使外设条形晶片(a)贴合抛光平台(2)的第一驱动装置(4)；所述夹具(1)与抛光平台(2)通过一第二驱动装置(5)驱动可做直线往复的相对运动。

2.根据权利要求1所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述第一驱动装置(4)用于驱动所述夹具(1)升降使外设条形晶片(a)与抛光平台(2)分离或贴合，所述第二驱动装置(5)用于驱动所述夹具(1)做相对于所述抛光平台(2)的直线往复运动。

3.根据权利要求1所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，外设条形晶片(a)的较长侧与运动方向平行。

4.根据权利要求3所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光液管(3)与所述夹具(1)同步运动。

5.根据权利要求4所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光液管(3)邻近外设条形晶片(a)的侧边布置。

6.根据权利要求5所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光液管(3)为分别邻近外设条形晶片(a)的2个较长侧布置的2个。

7.根据权利要求6所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，还包括一陶瓷盘(6)，多个外设条形晶片(a)以可拆的方式固定在所述陶瓷盘(6)上；所述夹具(1)夹紧所述陶瓷盘(6)；

2个所述抛光液管(3)为一组，一组抛光液管(3)与一个外设条形晶片(a)配合；所述陶瓷盘(6)上设有供抛光液管(3)穿过的通孔(A)。

8.根据权利要求7所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述陶瓷盘(6)上设有与外设条形晶片(a)适配的凹槽(B)，一个条形晶片与一个凹槽(B)对应。

9.根据权利要求1所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光平台(2)包括台体(21)，设置在台体(21)上的用于对外设条形晶片(a)进行抛光的聚氨酯抛光垫(22)；抛光液管(3)向聚氨酯抛光垫(22)输出抛光液。