[实用新型]一种多晶硅工艺石英管湿法清洗装置

权利要求书

1.一种多晶硅工艺石英管湿法清洗装置，其特征在于，结构包括箱体，所述箱体外形为长方体，其底部四个角各安装有一个支撑脚，所述箱体内设有排风系统并与动力排风管道相通，所述排风系统上设有一个排风软管和三个排风窗口，所述箱体的内部下方设有一个清洗槽，所述清洗槽的底板上设有旋转机构和排污口，所述旋转机构包括滚轮组一、滚轮组二、转轴一、转轴二，所述转轴一与转轴二的两端均固定于清洗槽的底板上，所述转轴一贯穿滚轮组一并与其转动连接，所述转轴二贯穿滚轮组二并与其转动连接，所述旋转机构的一侧上方设有一个加液漏斗，所述加液漏斗通过夹板固定在于清洗槽内，所述加液漏斗下方的清洗槽内安装有去离子水调节阀，由电磁阀控制开关，所述箱体正面上方安装有一个PLC控制器。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅工艺石英管湿法清洗装置，其特征在于，所述箱体的正面设有透明的视窗。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅工艺石英管湿法清洗装置，其特征在于，所述清洗槽的底部设有检修箱拉门，其顶部设有照明灯，所述箱体的顶部设有一个报警灯，其上部设有指示灯。