[实用新型]均热板及抽真空系统

权利要求书

1.一种均热板，其特征在于，包含：

第一盖体；

第二盖体，与所述第一盖体对应接合，以定义出腔室；以及

多个抽气通道，设置于所述第一盖体及所述第二盖体的侧边上；

其中，气体由所述多个抽气通道被抽出，以及，对至少一个所述抽气通道进行注液，使工作液体填充于所述腔室内，并封闭所述多个抽气通道。

2.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，所述第一盖体的第一内表面具有多个支撑柱，所述多个支撑柱之间定义多个气室，且所述多个气室相连通。

3.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于，所述第二盖体的第二内表面具有容置部，以容置毛细结构，且所述容置部与所述多个气室相连通，并共同构成所述腔室。

4.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于，所述均热板还包含多个抽气衔接部，每一所述抽气衔接部各具有抽气管，且每一所述抽气通道对应连通设置于每一所述抽气管内。

5.根据权利要求4所述的均热板，其特征在于，每一所述抽气管具有圆形开口，所述开口的口径呈现向内渐缩的型态，且所述开口与所述抽气通道对应连通。

6.根据权利要求4所述的均热板，其特征在于，每一所述抽气衔接部具有延伸部，且所述延伸部突出于所述侧边而设置，且所述抽气管及所述抽气通道由所述延伸部向内延伸设置。

7.根据权利要求6所述的均热板，其特征在于，所述注液成后，对所述延伸部进行加压辗合程序，以封闭所述抽气管的所述抽气通道，并截断突出于所述侧边的所述延伸部。

8.根据权利要求4所述的均热板，其特征在于，所述多个抽气衔接部为二抽气衔接部，且设置于所述第一盖体及所述第二盖体的两侧边上，并通过所述二抽气衔接部的二抽气管的二抽气通道同时对所述腔室抽取气体，以使所述腔室内形成真空状态。

9.根据权利要求4所述的均热板，其特征在于，所述多个抽气衔接部为三抽气衔接部，且设置于所述第一盖体及所述第二盖体的三侧边上，并通过所述三抽气衔接部的三抽气管的三抽气通道同时对所述腔室抽取气体，以使所述腔室内形成真空状态。

10.一种抽真空系统，其特征在于，包含：

均热板，包括第一盖体、第二盖体以及多个抽气通道，所述第一盖体及所述第二盖体对应接合，以定义出腔室，所述多个抽气通道设置于所述第一盖体及所述第二盖体的侧边上；

管线，具有多个接合端口及工作端接口，所述多个接合端口分别与所述多个抽气通道对应连接；以及

工作机台，与所述管线的所述工作端接口对应连接；

其中，所述工作机台通过所述管线同时对所述多个抽气通道进行抽气，以及，对至少一个所述抽气通道进行注液，使工作液体填充于所述均热板内部，并封闭所述多个抽气通道。

11.根据权利要求10所述的抽真空系统，其特征在于，所述均热板还包含多个抽气衔接部，每一所述抽气衔接部各具有抽气管，且每一所述抽气通道对应连通设置于每一所述抽气管内。

12.根据权利要求11所述的抽真空系统，其特征在于，每一所述抽气管具有圆形开口，所述开口的口径呈现向内渐缩的型态，且所述开口与所述抽气通道对应连通，以及所述管线的每一所述接合端口为圆形管状端口，以与所述抽气管的所述圆形开口对应接合。

13.根据权利要求11所述的抽真空系统，其特征在于，所述多个抽气衔接部为二抽气衔接部，且设置于所述第一盖体及所述第二盖体的两侧边上，且所述多个接合端口为二接合端口，以与所述二抽气衔接部的二抽气管的二抽气通道对应连接，并通过所述二接合端口及所述二抽气通道同时抽取气体，以使所述均热板内部形成真空状态。