[实用新型]一种窄能谱离子束产生装置

权利要求书

1.一种窄能谱离子束产生装置，包括离子源（2），其特征在于：所述离子源（2）可调整竖直方向角度地架设于支架（1）上，在支架上部固定设置有选能器，所述选能器由电磁屏蔽罩（7）和内部固定设置的选能组件构成，所述选能组件由两块永磁铁阵列（8）、矩形磁靴（6）、一对永磁隔绝板（9）和电极组件组成，所述两块永磁铁阵列（8）相吸设置，与磁力线垂直的方向固定设置有电极组件，所述电极组件由一对内部设置有电极的绝缘盒（10）和电极（12）组成，一对电极沿垂直于磁场方向相对设置，中间的空间为离子束通道；所述磁靴是由围设于两块永磁铁阵列外围的四块板构成的矩形结构；离子束通道方向上的矩形磁靴（6）外侧设置有一对永磁隔绝板（9）；在离子束通道方向上的电磁屏蔽罩（7）、矩形磁靴（6）、永磁隔绝板（9）和电磁屏蔽罩（7）上均设置有同轴的开孔，电磁屏蔽罩（7）上的下部开孔和上部开孔均为内螺纹结构，在其内分别连接有入射窗（13）和出射窗（14）；离子源（2）的离子束出射口与入射窗（13）同轴设置。

2.根据权利要求1所述的一种窄能谱离子束产生装置，其特征在于：所述离子源（2）通过锁紧螺母（4）固定于支架（1）上设置的弧形槽（5）内，锁紧螺母（4）上设置有手柄（3），通过调整固定位置来调节离子源（2）的出射方位。

3.根据权利要求1或2所述的一种窄能谱离子束产生装置，其特征在于：所述两块永磁铁阵列（8）和电极组件通过连接件连接，连接件的下部穿过矩形磁靴（6）、永磁隔绝板（9）和电磁屏蔽罩（7）与离子源（2）的上端固定连接。