[实用新型]一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件有效

专利信息
申请号: 202122925675.5 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN217297995U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 吴付豪 申请(专利权)人: 苏州中磐激光科技有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/56
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 代理人: 周高
地址: 215200 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子枪 真空镀膜 内部 冷却 组件
【权利要求书】:

1.一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,包括枪体(6)、连接管(2)和换热管(1),所述连接管(2)位于换热管(1)内部,且所述连接管(2)前后两端分别贯穿出换热管(1)前后两端,所述换热管(1)固定于枪体(6)内部,且所述换热管(1)前后两端分别贯穿出枪体(6)前后两端,其特征在于:

所述枪体(6)左右两侧均开有散热口(7),所述散热口(7)内均嵌入有散热网(8),且所述枪体(6)内壁左右两侧中间均安装有制冷片(9),所述制冷片(9)外侧均与相近的所述散热网(8)内壁相接触;

所述换热管(1)左右两侧均开有与其内部相通的冷气口(10),且所述换热管(1)内部左右两侧前后方均固定有呈L型的冷气管(11),所述连接管(2)位于四根所述冷气管(11)之间,所述冷气管(11)头端均穿出相近的所述冷气口(10)并靠近制冷片(9),前方的所述冷气管(11)末端延伸至换热管(1)内部前方,后方的所述冷气管(11)末端延伸至换热管(1)内部后方。

2.根据权利要求1所述的一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,其特征在于:所述连接管(2)外部前后方均套接有固定套(3),两个所述固定套(3)分别位于两个所述冷气口(10)之间的前后方,所述固定套(3)外壁与换热管(1)内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,其特征在于:所述换热管(1)左右两侧的前后方均开有与其内部相通的排热口(12),所述排热口(12)内均嵌接有网板(13)。

4.根据权利要求1所述的一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,其特征在于:所述连接管(2)前端固定有与其相通的进弹管(4),且所述连接管(2)后端固定有与其相通的出弹管(5)。

5.根据权利要求1所述的一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,其特征在于:所述枪体(6)左侧后方固定有电池盒(14),且所述电池盒(14)左侧盖有盖子(16),所述枪体(6)左侧安装有位于电池盒(14)后方的开关。

6.根据权利要求5所述的一种电子枪真空镀膜机内部冷却组件,其特征在于:所述电池盒(14)内安装有电池(15),两片所述制冷片(9)和开关均通过导线与电池(15)电性连接。

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