[实用新型]一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝有效

专利信息
申请号: 202122928894.9 申请日: 2021-11-26
公开(公告)号: CN216700355U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 肖学才 申请(专利权)人: 浙江龙际立尔半导体科技有限公司
主分类号: H05B3/06 分类号: H05B3/06;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 加工 用具 有线 固定 功能 加热
【权利要求书】:

1.一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,包括电加热丝(1),其特征在于:所述电加热丝(1)的顶部设置有线夹器(2),所述电加热丝(1)顶部的两侧均固定连接有传动箱(3),所述传动箱(3)的外侧固定连接有推块(4),所述推块(4)的内侧固定连接有传动杆(5),所述传动杆(5)的内侧贯穿至传动箱(3)的内部并固定连接有移动块(6),所述移动块(6)的底部与传动箱(3)内壁的底部滑动连接,所述移动块(6)的右侧固定连接有卡杆(7),所述传动箱(3)的表面固定连接有限位机构(8);

所述限位机构(8)包括固定连接在传动箱(3)表面的固定块(81),所述固定块(81)的内部滑动连接有限位杆(82),所述限位杆(82)的底部固定连接有限位块(83)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,其特征在于:所述移动块(6)的内部滑动连接有导杆(9),所述导杆(9)的两侧均与传动箱(3)的内壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,其特征在于:所述移动块(6)的底部固定连接有滑块(10),所述传动箱(3)内壁的底部开设有滑槽(11),所述滑块(10)与滑槽(11)配合使用。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,其特征在于:所述线夹器(2)的两侧均开设有卡槽(12),所述卡槽(12)与卡杆(7)配合使用。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,其特征在于:所述卡杆(7)的表面套设有拉簧(13),所述拉簧(13)的左侧与移动块(6)的右侧固定连接,所述拉簧(13)的右侧与传动箱(3)内壁的右侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用具有线夹固定功能的加热丝,其特征在于:所述推块(4)的内部固定连接有摩擦垫(14),所述摩擦垫(14)的材质为橡胶材质。

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