[实用新型]一种用于晶圆老化测试的烘烤装置

权利要求书

1.一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)内对称安装有两个烘烤支架(2)，所述烘烤支架(2)包含基板(7)和放置板(8)，所述放置板(8)有若干个且均匀设置在基板(7)的内端，其中一个所述基板(7)的内端对称安装有两个一号连接板(3)，两个所述一号连接板(3)内均安装有一个限位柱(9)，另一个所述基板(7)的内端对称安装有两个二号连接板(4)，两个所述二号连接板(4)上均对称安装有两个固定结构(5)，所述固定结构(5)包含按压板(16)以及固定卡块(19)，所述固定卡块(19)设置在按压板(16)的外端，四个所述按压板(16)的内端均对称设置有两个推动弹簧(14)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，其特征在于：所述设备主体(1)上安装有防护门(6)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，其特征在于：两个所述烘烤支架(2)为相互独立设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，其特征在于：两个所述一号连接板(3)均通过螺钉固定安装在基板(7)的内端，两个所述一号连接板(3)均为U形结构，两个所述一号连接板(3)的内壁上均对称开设有若干个固定卡槽(10)。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，其特征在于：两个所述二号连接板(4)均通过螺钉固定安装在基板(7)的内端，所述二号连接板(4)包含基杆(11)、连接杆(12)以及防脱板(13)，所述连接杆(12)有四个且对称设置在基杆(11)的前后两端，所述防脱板(13)有四个且分别设置在四个连接杆(12)的外端，所述基杆(11)的内端开设有安装盲孔(15)，所述基杆(11)通过其上开设的安装盲孔(15)安装在限位柱(9)上。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆老化测试的烘烤装置，其特征在于：四个所述固定结构(5)上的四个按压板(16)的外端均对称开设有两个收纳槽(17)，四个所述按压板(16)的内端均对称开设有两个通孔(18)，所述通孔(18)将按压板(16)的内端和收纳槽(17)贯穿，所述固定卡块(19)嵌入在一号连接板(3)内壁上开设的固定卡槽(10)内，所述按压板(16)通过其上开设的收纳槽(17)、通孔(18)滑动安装在连接杆(12)、防脱板(13)上，所述推动弹簧(14)套设在连接杆(12)上。