[实用新型]一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台

权利要求书

1.一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台，其特征在于，该样品台包括：支撑螺栓、样品台支座、样品台陶瓷板、钼螺栓、钼台、基片、左L型立板、右L型立板，具体结构如下：

基片放置在钼台的顶部凹槽内，钼台的底部中心沿竖向安装钼螺栓，上下相对水平设置的样品台支座、样品台陶瓷板，与左右相对设置的左L型立板、右L型立板组合为长方体框架结构，钼台通过钼螺栓固定在水平设置的样品台陶瓷板上，样品台支座通过竖向设置的支撑螺栓固定在腔室底板上。

2.按照权利要求1所述的可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台，其特征在于，长方体框架结构及样品台陶瓷板、钼螺栓、钼台、基片设置于反应腔室中，从上到下依次设置的腔室上盖、密封绝缘垫、腔室壳体、腔室底板组成反应腔室，腔室壳体设置于腔室底板上，腔室壳体的顶部安装腔室上盖，腔室壳体与腔室上盖之间通过密封绝缘垫密闭连接。

3.按照权利要求2所述的可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台，其特征在于，反应腔室的腔室上盖物理接地作为零点电位，直流偏压电源的正极依次通过电源线、航空密封接头、高温导线、钼螺栓与钼台相连接，直流偏压电源的负极通过电源线物理接地作为零点电位与反应腔室的腔室上盖形成回路，直流偏压电源为-500～0V的可调负偏压电源。

4.按照权利要求1所述的可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台，其特征在于，钼螺栓为钼螺栓杆、钼螺栓上端头、钼螺栓上平板同轴一体的组合结构，钼螺栓杆的顶部为钼螺栓上平板，钼螺栓上平板的顶部为钼螺栓上端头，钼台的底部中心设有螺纹孔，钼螺栓通过钼螺栓上端头与钼台底部中心的螺纹孔通过螺纹连接，钼螺栓上平板位于样品台陶瓷板顶部中心的凹槽内，样品台陶瓷板中心设有通孔，钼螺栓杆穿设于样品台陶瓷板，钼螺栓上依次安装片状螺母、导线上夹持螺栓、高温导线一端、导线下夹持螺栓，片状螺母与钼螺栓通过螺纹连接并固定于样品台陶瓷板底部，导线上夹持螺栓与钼螺栓通过螺纹连接并固定于片状螺母底部，导线下夹持螺栓与钼螺栓通过螺纹连接，高温导线一端套在钼螺栓上且通过导线上夹持螺栓、导线下夹持螺栓夹紧固定，高温导线另一端与航空密封接头连接。

5.按照权利要求1所述的可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台，其特征在于，样品台支座与左L型立板的水平短边端部、右L型立板的水平短边端部之间通过止口对接，左L型立板的竖直长边下端、右L型立板的竖直长边下端之间与样品台支座通过止口对接。