[实用新型]空间电荷测量装置

说明书

本实用新型提供了一种空间电荷测量装置，其包括：上电极系统，包括上壳体和上电极组件，上壳体具有上容纳腔，上电极组件包括加热绝缘部和上电极本体，加热绝缘部和上电极本体均设置在上容纳腔内，且加热绝缘部位于上电极本体的上方，上电极本体具有相对设置的连接端和测试端，上电极本体的连接端与加热绝缘部连接，加热绝缘部用于对上电极本体加热；下电极系统，位于上电极系统的下方，被检测件位于上电极系统和下电极系统之间；检测组件，设置在下电极系统上，检测组件用于获取被检测件的检测数据。通过本申请提供的技术方案，可以解决现有技术中的上电极和与其配合的金属屏蔽罩之间容易发生短路的问题。

技术领域

本实用新型涉及空间电荷测量技术领域，具体而言，涉及一种空间电荷测量装置。

背景技术

温控型的空间电荷测量装置通常包括独立设置的上电极和下电极、直流电压导入模块、脉冲电压导入模块和传感器模块，并且，上电极和下电极外均罩设有金属屏蔽罩。测试时，需要将被检测件夹在上电极和下电极之间，通过上电极对被检测件施加直流电压和脉冲电压，被检测件中的电荷在脉冲场的作用下引起静电力，并产生压力波，压力波经被检测件传递至下电极，并由传感器检测模块将检测到的声信号转换为电信号。通常情况下，上电极和下电极均为中空结构，且通过给中空的上电极和下电极引入高/低温循环浴来改变上电极和下电极的温度，以改变被检测件的上下表面的温度。通过上述结构来检测被检测件中电荷分布与温度的影响。但是，当被检测件被击穿时，上电极和与其配合的金属屏蔽罩之间容易发生短路，造成设备损坏。

实用新型内容

本实用新型提供一种空间电荷测量装置，以解决现有技术中的上电极和与其配合的金属屏蔽罩之间容易发生短路的问题。

本实用新型提供了一种空间电荷测量装置，其包括：上电极系统，包括上壳体和上电极组件，上壳体具有上容纳腔，上电极组件包括加热绝缘部和上电极本体，加热绝缘部和上电极本体均设置在上容纳腔内，且加热绝缘部位于上电极本体的上方，上电极本体具有相对设置的连接端和测试端，上电极本体的连接端与加热绝缘部连接，加热绝缘部用于对上电极本体加热；下电极系统，位于上电极系统的下方，被检测件位于上电极系统和下电极系统之间；检测组件，设置在下电极系统上，检测组件用于获取被检测件的检测数据。

进一步地，上电极组件具有供绝缘流体流通的第一流通通道，第一流通通道穿设在上电极本体的连接端和加热绝缘部上，上壳体还具有第一进液口和第一排液口，第一进液口和第一排液口均与第一流通通道连通。

进一步地，上电极本体的连接端具有容纳槽，加热绝缘部的一端与上电极本体的连接端抵接，第一流通通道包括：进液通道，设置在加热绝缘部上，且进液通道的一端与第一进液口连通，进液通道的另一端与容纳槽连通；排液通道，设置在加热绝缘部上，且排液通道的一端与第一排液口连通，排液通道的另一端与容纳槽连通。

进一步地，加热绝缘部的部分穿设在容纳槽内，并与上电极本体螺纹连接。

进一步地，上电极系统还包括填充部，填充部填充在上容纳腔内，且加热绝缘部和部分上电极本体埋设在填充部内。

进一步地，下电极系统包括：下壳体，具有下容纳腔，下壳体具有第二进液口和第二排液口；下电极本体，设置在下容纳腔内，并与上电极本体配合以对被检测件的两侧加热，下电极本体具有供流体流通的第二流通通道，第二进液口和第二排液口均与第二流通通道连通。

进一步地，下电极本体具有检测区域和控温区域，控温区域设置在检测区域的外周，检测区域对应上电极本体设置，第二流通通道设置在控温区域内，检测组件设置在下电极本体的远离上电极组件的一侧，且检测组件与检测区域相对设置。

进一步地，空间电荷测量装置还包括：密封部，密封部为环形，密封部设置在上电极系统和下电极系统之间，密封部的一端与上电极系统密封连接，密封部的另一端与下电极系统密封连接。