[实用新型]一种金刚石场效应晶体管

权利要求书

1.一种金刚石场效应晶体管，其特征在于，包括：

金刚石衬底(1)，所述金刚石衬底(1)的第一表面(1a)为氢终端表面；

源极(2)、漏极(3)和栅介质层(4)，均设置于所述第一表面(1a)上，且所述栅介质层(4)设置于所述源极(2)和所述漏极(3)之间，且所述栅介质层(4)中部具有空气间隙(5)；

栅极(6)，设置于所述栅介质层(4)上，且所述栅极(6)具有位于所述空气间隙(5)上方的第一栅极部(61)以及除所述第一栅极部(61)以外的第二栅极部(62)，所述第一栅极部(61)远离所述栅介质层(4)的表面以及所述第二栅极部(62)远离所述栅介质层(4)的表面位于同一平面，且所述第一栅极部(61)的厚度小于所述第二栅极部(62)的厚度。

2.根据权利要求1所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述栅介质层(4)包括第一子介质层(41)和第二子介质层(42)，所述第二子介质层(42)位于所述第一子介质层(41)上，所述空气间隙(5)贯穿所述第二子介质层(42)。

3.根据权利要求1所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述栅介质层(4)包括第一子介质层(41)和第二子介质层(42)，所述第二子介质层(42)位于所述第一子介质层(41)上，所述空气间隙(5)贯穿所述第一子介质层(41)和所述第二子介质层(42)。

4.根据权利要求2或3所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述第二子介质层(42)为钛氧化物层，所述第一子介质层(41)与所述源极(2)之间以及与所述漏极(3)之间均具有间隙，所述第二子介质层(42)位于所述第一子介质层(41)上并填充所述间隙。

5.根据权利要求4所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述第二子介质层(42)还延伸至所述源极(2)和所述漏极(3)上。

6.根据权利要求5所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述第一子介质层(41)为LaB₆层。

7.根据权利要求6所述的金刚石场效应晶体管，其特征在于，所述金刚石衬底(1)包括金刚石基底(11)以及生长于所述金刚石基底(11)上的金刚石P型掺杂层(12)；所述第一表面(1a)为所述金刚石P型掺杂层(12)的表面。