[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202122960022.0 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216391412U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;王琳琳;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和所述第二振膜与所述背板间隔设置，所述背板设有若干个通孔，其特征在于：所述MEMS麦克风还包括连接所述第一振膜、所述背板以及所述第二振膜的连接柱。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接柱包括远离所述基底的上表面、与所述上表面相对的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧面，所述连接柱贯穿所述通孔，所述连接柱的所述上表面与所述第一振膜连接，所述下表面与所述第二振膜连接，所述侧面与所述背板连接。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接柱为中空环状结构，所述背板与所述连接柱的内侧的侧面连接。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接柱有两个，且分别位于所述背板的两侧，两个所述连接柱分别夹设于所述第一振膜和所述背板之间和所述第二振膜和所述背板之间。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接柱连接所述第一振膜、所述背板以及所述第二振膜的中心位置。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接柱与所述背板一体形成。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一振膜包括第一本体部、位于所述第一本体部外周的第一固定部以及连接所述第一本体部和所述第一固定部的第一弹性件。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第二振膜包括第二本体部、位于所述第二本体部外周的第二固定部以及连接所述第二本体部和所述第二固定部的第二弹性件。
9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS还设有贯穿通孔的支撑柱，所述支撑柱连接所述第一振膜和所述第二振膜。
10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑柱设有多个，多个所述支撑柱关于所述连接柱呈轴对称分布。
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