[实用新型]一种清洗干燥设备

说明书

本实用新型属于清洗干燥技术领域，公开了一种清洗干燥设备，该清洗干燥设备在外壳的外壁上安装有超声波发生器，在外壳内安装侧壁为镂空结构的内壳，内壳的内壁上设置固定件，用于夹紧固定待清洗的夹具，同时，在外壳内还设置有集流管，集流管上开设吹扫喷淋孔，且集流管能够与气源连通。对夹具进行清洗时，可利用超声波发生器对夹具进行清洗。对夹具进行干燥时，由气源输出的气体通过集流管上的吹扫喷淋孔吹出，对外壳内的气体产生扰动，使夹具上的清洗液快速蒸发，进而获得干燥夹具的效果。

技术领域

本实用新型涉及清洗干燥技术领域，尤其涉及一种清洗干燥设备。

背景技术

图形化蓝宝石衬底的生产是LED产业中的一个重要生产环节，它是将蓝宝石平片放置在夹具上进行等离子体刻蚀而成，等离子体刻蚀过程是蚀刻气体中的等离子体与蓝宝石及其表面的聚合物掩膜发生物化的反应，在刻蚀过程中会产生很多副产物沉积在夹具上，因此在等离子体刻蚀工艺完成后需要对夹具进行清洗以确保夹具的清洁。

现有技术中，夹具的清洗和干燥工序是分开进行的，先将夹具放置到超声波清洗机中进行清洗，然后再将夹具转移到烤箱中进行烘烤干燥，清洗干燥工艺的操作较为繁杂。另一方面，烤箱的烘烤温度较高，一般烘烤温度设置在90℃以上，将干燥后的夹具从烤箱中取出时非常容易烫伤操作人员；并且，从烤箱中取出的夹具需要完全自然冷却后才能再次使用，等待夹具自然冷却的时间较长，若将蓝宝石平片放置在冷却不彻底的夹具上，则在夹具冷却收缩的过程中会破坏其与蓝宝石平片接触的平面上的掩膜体，经等离子体刻蚀后会出现图形化蓝宝石衬底相应位置微观结构异常的问题，最终形成不良品。

因此，亟需提出一种清洗干燥设备，以解决夹具清洗干燥效率低下的问题，以及由高温烘烤干燥所引发的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗干燥设备，将夹具的清洗和干燥集为一体，并且能够采用风冷式干燥的方法对夹具进行干燥。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种清洗干燥设备，包括：

外壳，外壳上开设有排水口；

超声波发生器，超声波发生器安装于外壳的外壁上；

内壳，内壳安装于外壳内，内壳的侧壁为镂空结构，且内壳的内壁上设置有固定件，固定件能够夹紧夹具；

集流管，集流管设置于外壳内，集流管能与气源连通，且集流管上开设有吹扫喷淋孔，气源供给的气体能够由吹扫喷淋孔吹出以使夹具上的液体蒸发。

可选地，还包括驱动装置，驱动装置驱动连接于内壳，以驱动内壳旋转对夹具进行甩干。

可选地，还包括角接触球轴承，角接触球轴承设置于外壳的底部，内壳与角接触球轴承转动连接，驱动装置设置于外壳的顶部。

可选地，固定件包括卡块，卡块的数量为多个，多个卡块均设置在内壳的内壁上，且沿内壳的轴向间隔设置，相邻的两个卡块之间形成卡槽，夹具能够被卡紧固定于卡槽内。

可选地，卡槽的数量为多个。

可选地，卡块沿内壳的周向连续式设置，或，卡块沿内壳的周向间断式设置。

可选地，吹扫喷淋孔朝向卡槽设置。

可选地，还包括进气管，集流管通过进气管与气源连通。

可选地，还包括进水管以及三通管件，进水管的一端能与供液源连通，另一端通过三通管件与集流管连通，供液源供给的液体能够由吹扫喷淋孔喷出以冲刷夹具上的残渣。

可选地，还包括连通管，连通管的一端与外壳底部连通，另一端开口设置，连通管为透明的塑料材质或玻璃材质。

有益效果：