[实用新型]前驱体材料气化特性的测定装置

权利要求书

1.前驱体材料气化特性的测定装置，其特征在于：包含：

载气储罐(1)，用于提供载气源；

载气流量调节阀(2)，用于调节载气流量，连接于载气储罐(1)与载气流量计(3)之间；

载气流量计(3)，用于控制载气流量，与前驱体钢瓶(6)连接；

气压计(5)，用于测定前驱体钢瓶(6)内被测样品的气相分压；

温度计二(4)，用于测定前驱体钢瓶(6)内被测样品温度；

前驱体钢瓶(6)，置于恒温加热控温模块(7)中，前驱体钢瓶(6)和恒温加热控温模块(7)一起置于热重分析仪(8)上；

温度计一(9)，用于测定恒温加热控温模块(7)温度；

混合气流量调节阀(10)，用于调节样品气流量，连接于前驱体钢瓶(6)与颗粒度仪(11)之间；

颗粒度仪(11)，用于测定液体前驱体材料汽化后气相产品的颗粒物含量；

混合气流量计(12)，用于控制样品气流量，与颗粒度仪(11)连接；

截止阀(13)，用于防止空气倒入，连接于混合气流量计(12)与液氮冷阱和样品回收装置(14)之间。

2.根据权利要求1所述的前驱体材料气化特性的测定装置，其特征在于：前驱体钢瓶(6)内插入内置温度计二(4)和气压计(5)。

3.根据权利要求1所述的前驱体材料气化特性的测定装置，其特征在于：恒温加热控温模块(7)中插入外置温度计一(9)。

4.根据权利要求1所述的前驱体材料气化特性的测定装置，其特征在于：载气储罐(1)、载气流量调节阀(2)、载气流量计(3)与前驱体钢瓶(6)依次以串联方式采用1/8〞、1/4〞或1/2〞管路相连接，前驱体钢瓶(6)、混合气流量调节阀(10)、颗粒度仪(11)、混合气流量计(12)、截止阀(13)与液氮冷阱和样品回收装置(14)依次以串联方式采用1/8〞、1/4〞或1/2〞管路相连接。