[实用新型]一种光罩储存设备

权利要求书

1.一种光罩储存设备，其特征在于，包括：

一设备主体，所述设备主体分隔有多个缓存料仓；

一升降机构，所述升降机构设于所述设备主体的前侧面，所述升降机构上固设有一升降料架，所述升降机构带动所述升降料架上下移动；以及

一尺寸匹配机构，所述尺寸匹配机构可活动地置于所述升降料架上且所述尺寸匹配机构可活动地进出所述缓存料仓。

2.根据权利要求1所述的光罩储存设备，其特征在于，所述尺寸匹配机构包括一料仓芯体，所述料仓芯体可活动地置于所述升降料架上且所述料仓芯体可活动地进出所述缓存料仓；所述料仓芯体的左右两侧各设有一支撑件，两个所述支撑件的前端分别凸设有一第一凸块且其后端分别凸设有一第二凸块，两个所述支撑件的外侧均设有一转轴，两个所述转轴的前端套设有一第一皮带，两个所述转轴的后端套设有一第二皮带，所述第一皮带和所述第二皮带的内侧面贴合所述支撑件的表面且带动两个所述支撑件内缩或外扩。

3.根据权利要求1所述的光罩储存设备，其特征在于，所述升降料架设有一直线模组，所述直线模组位于所述升降料架的中部，所述直线模组上端设有一滑台，所述滑台可沿所述直线模组方向前后滑移，所述滑台靠近所述缓存料仓的一端凸设有一电磁铁，所述滑台的上端设有一顶块。

4.根据权利要求2所述的光罩储存设备，其特征在于，所述支撑件的上侧面均设有一光罩感应器。

5.根据权利要求2所述的光罩储存设备，其特征在于，所述缓存料仓内的左右两侧均设有一第一导轨，所述升降料架的左右两侧均设有一第二导轨，所述升降料架移至所述缓存料仓时，两个所述第一导轨分别对接两个所述第二导轨。

6.根据权利要求1-4任一项所述的光罩储存设备，其特征在于，所述升降机构上设有多个正限位传感器、多个负限位传感器和多个零点传感器。

7.根据权利要求1-4任一项所述的光罩储存设备，其特征在于，还包括一过滤器，所述过滤器设于所述设备主体的上侧面，所述过滤器具有若干第一进风孔，沿所述第一进风孔的外缘辐射状地设有多个第二进风孔。

8.根据权利要求5所述的光罩储存设备，其特征在于，所述第二导轨包括相互连接的一柱体和一块体，所述柱体设置在所述块体上，所述第二导轨和所述第一导轨结构相同，所述料仓芯体下端左右两侧均设有与所述第一导轨匹配的滑槽。

9.根据权利要求1-4任一项所述的光罩储存设备，其特征在于，所述升降机构包括一斜台，所述升降料架安装在所述斜台上且随着所述斜台上下移动；所述斜台的横截面为三角形。

10.根据权利要求2所述的光罩储存设备，其特征在于，两个所述转轴的两端部均设有一皮带槽，所述皮带嵌入所述皮带槽。