[实用新型]一种气体流量标准系统

权利要求书

1.一种气体流量标准系统，其特征在于,包括：

检测单元，所述检测单元为若干个，若干所述检测单元并联设置，所述检测单元一端连通有被检表(4)，所述检测单元另一端与气源装置连通；

调节装置，所述调节装置包括电动调节阀(5)、电磁截止阀(7)；所述气源装置和所述检测单元之间安装有所述电动调节阀(5)，所述被检表(4)远离所述检测单元一端安装有所述电磁截止阀(7)；

信息反馈装置，所述信息反馈装置包括高精度绝压变送器(9)、温度变送器(10)和绝压变送器(8)，所述检测单元上设置有所述高精度绝压变送器(9)、所述温度变送器(10)和所述绝压变送器(8)；

控制器，所述控制器分别与所述调节装置、所述信息反馈装置、所述检测单元和所述气源装置电性连接。

2.根据权利要求1所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述气源装置包括真空泵(1)，所述真空泵(1)进气端连接有缓冲接头。

3.根据权利要求2所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述检测单元包括滞止容器(2)以及和所述滞止容器(2)连通的音速喷嘴器(3)，所述滞止容器(2)另一端与所述被检表(4)，所述音速喷嘴器(3)与所述真空泵(1)连通。

4.根据权利要求3所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述真空泵(1)和所述音速喷嘴器(3)之间连通有储压容器(12)，所述储压容器(12)上安装有绝压变送器(8)，所述储压容器(12)和所述真空泵(1)之间安装有电动蝶阀(6)，所述储压容器(12)和所述音速喷嘴器(3)之间安装有所述电动调节阀(5)。

5.根据权利要求4所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述滞止容器(2)上安装有所述高精度绝压变送器(9)和所述温度变送器(10)。

6.根据权利要求5所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述被检表(4)和所述滞止容器(2)之间依次安装有所述绝压变送器(8)和所述电动调节阀(5)。

7.根据权利要求1所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述电磁截止阀(7)远离所述被检表(4)一端安装有气体过滤器(13)，所述电磁截止阀(7)和所述气体过滤器(13)之间安装有空气除湿器(14)，所述空气除湿器(14)与所述控制器电性连接。

8.根据权利要求7所述的气体流量标准系统，其特征在于：所述电磁截止阀(7)和所述被检表(4)之间安装有相对湿度计(11)、所述绝压变送器(8)和所述温度变送器(10)。